高溫真空腔光學(xué)測試

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鄭州科探儀器設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡介

高溫真空腔光學(xué)測試KT-Z4019MRL4T，300X300X170（mm）氣浮隔振+阻尼隔振+橡膠減震底腳，-196℃至350℃微型高低溫探針臺，小巧輕便，功能齊全。

詳細(xì)介紹

高品質(zhì)鋼質(zhì)蜂巢臺面：

光學(xué)隔振平臺由鋼質(zhì)蜂巢內(nèi)核、頂板及底板組成，在降低重量的前提下提供了足夠的硬度。光學(xué)隔振平臺頂板為高導(dǎo)磁性不銹鋼材料，底板為氧化處理碳鋼板，四周側(cè)板內(nèi)層為碳鋼板外層為黑色鋁塑板.

氣浮隔震裝置：

氣壓式防振裝置，符合 JISD-4101 氣墊耐壓試驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn) ；自然頻率 3Hz~5Hz，使用壓力 4.5Kg/cm^2。；本體采用 Neoprene Rubber，一體成型氣密性佳。防振效果*，一般設(shè)備效率可達(dá) 97%以上。

高溫真空腔光學(xué)測試KT-Z4019MRL4T

196℃至350℃微型高低溫探針臺，結(jié)構(gòu)精美，外觀小巧，搭配4探針，留有石英玻璃觀察窗，主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個(gè)測試平臺，氣敏測試，光敏測試等。

高溫真空腔光學(xué)測試KT-Z4019MRL4T

真空腔體
類型	高溫型室溫到350℃	高低溫型室溫到350℃ 室溫到-196℃
腔體材質(zhì)	304不銹鋼 6061鋁合金可選
腔體內(nèi)尺寸	127mmX57mmX20mm
腔體外尺寸	150mmX80mmX32mm
腔體重量	不銹鋼材質(zhì) 約1.5KG 鋁合金材質(zhì) 約0.5KG
腔體上視窗尺寸	Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離）
腔體抽氣口	KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接）
腔體真空測量口	KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接）
腔體進(jìn)氣口	6mm快擰或 6mm快插
腔體冷卻方式	腔體水冷+上蓋氣冷
腔體水冷接口
腔體正壓	≤0.05MPa
腔體真空度	機(jī)械泵≤5Pa （5分鐘）分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）
樣品臺
樣品臺材質(zhì)	不銹鋼銀銅合金純銀塊	銀銅合金純銀塊
樣品臺尺寸	26x26mm
樣品臺加熱方式	電阻加熱	電阻加熱液氮制冷
樣品臺-視窗距離	11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm）
樣品臺測溫傳感器	PT100型熱電阻
樣品臺溫度	室溫到400℃	室溫到400℃ 室溫到-196℃
樣品臺測溫誤差	±0.5℃
樣品臺升溫速率	高溫100℃/min 低溫7℃/min
溫控儀
溫度顯示	7寸人機(jī)界面
溫控類型	標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定
溫度分辨率	0.1℃
溫控精度	±0.5℃
溫度信號輸入類型	PT100 （可選K S B型熱電偶）
溫控輸出	直流線性電源加熱	直流線性電源加熱+液氮流速控制器
輔助功能	溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出實(shí)時(shí)溫度曲線+歷史溫度曲線可擴(kuò)展真空讀數(shù)接口
溫控器尺寸	32cmX170cmX380cm
溫控器重量	約5.6KG
探針
電信號接頭	配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭香蕉插頭線長1.2米
電學(xué)性能	絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA
探針數(shù)量	4探針（可擴(kuò)展5探針）
探針材質(zhì)	鍍金鎢針（其他材質(zhì)可選）
探針尖	10μm
手動探針移動平臺
X軸移動行程	20mm ±10mm（需手動推動滑臺）
X軸控制精度	≥500μm
R軸移動行程	120° ±60°（需手動旋轉(zhuǎn)探針桿）
R軸控制精度	≥500μm
Z軸移動行程	2mm ±1mm
Z軸控制精度	≤50μm（需手動螺紋調(diào)節(jié)探針桿）

關(guān)鍵詞：芯片熱電阻傳感器人機(jī)界面熱電偶

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