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成都廠家半導(dǎo)體制程PVD沉積臺(tái) 可定制鍍膜機(jī)

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更新時(shí)間：2023-11-17 13:43:49瀏覽次數(shù)：193次

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成都漢普升科技有限公司

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成都真空設(shè)備廠家半導(dǎo)體制程PVD沉積臺(tái) 電阻蒸發(fā) 電子束蒸發(fā) 離子源輔助清洗輔助沉積可定制

詳細(xì)介紹

●成都真空設(shè)備廠家半導(dǎo)體制程PVD沉積臺(tái) 電阻蒸發(fā) 電子束蒸發(fā) 離子源輔助清洗輔助沉積可定制

●本裝置使用電阻蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)和離子源輔助清洗、輔助沉積和原位刻蝕進(jìn)行復(fù)合，用于制備特種薄膜，薄膜具有均勻性、附著力、抗損傷、低顆粒物污染等特點(diǎn)，是半導(dǎo)體制程中關(guān)鍵工序的核心裝備，其技術(shù)長(zhǎng)期被美國(guó)、日本等國(guó)技術(shù)所壟斷，屬于國(guó)內(nèi)卡脖子裝備，也是制約國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體領(lǐng)域自主可控的關(guān)鍵設(shè)備，該設(shè)備的技術(shù)突破和產(chǎn)業(yè)化對(duì)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有積極意義。

●說(shuō)明：根據(jù)用戶要求，公司愿與客戶聯(lián)合研發(fā)，共享知識(shí)產(chǎn)權(quán)，公司致力于工藝與設(shè)備匹配。