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教學(xué)型真空鍍膜機

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產(chǎn)品型號SVZK-300

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更新時間：2023-04-14 18:11:18瀏覽次數(shù)：377次

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產(chǎn)品簡介

簡要描述：教學(xué)型真空鍍膜機

詳細(xì)介紹

SVZK-300型多功能真空實驗儀是一個真空實驗平臺，適合于對學(xué)生開展真空實驗教學(xué)?？蛇M行真空蒸鍍、磁控濺射，它也可以在高純

氬氣的保護之下進行多種離子處理。用本設(shè)備處理的試樣既可用于樣品的外貌觀察又可以進行成分分析。傳統(tǒng)的真空實驗儀器大都由金屬部

件組成，很多主要的實驗過程不直觀，學(xué)生只能通過儀表了解物理過程。本設(shè)備真空室部分采用高強度玻璃制造，儀器結(jié)構(gòu)緊湊合理，操作

簡單，物理過程直觀，容易引起學(xué)生的興趣，利于提高學(xué)生的實驗?zāi)芰屠碚撀?lián)系實際的能力。

可開設(shè)的實驗：
1、真空的獲得與測量；2、蒸發(fā)法薄膜制備 3、直流磁控濺射鍍膜

設(shè)備的組成：

SVZK-300型多功能真空實驗儀由電氣控制系統(tǒng)與真空系統(tǒng)組成，其中電氣控制系統(tǒng)包括控制電路、真空測量儀與測量儀表；真空系統(tǒng)

包括玻璃真空室、真空管路、真空機組（直聯(lián)機械旋片泵和分子泵構(gòu)成二級真空系統(tǒng)）、真空測量。

技術(shù)參數(shù)：

1、真空室：采用硬質(zhì)玻璃制造，可直接觀察真空室內(nèi)各部件及實驗過程。包括真空室底盤、二對無氧銅電極、烘烤加熱器、蒸發(fā)擋板、襯底加熱燈管。

2、分子泵：本系統(tǒng)采用F160/620渦輪分子泵，其冷卻方式為通水冷卻，必須采用水冷。

3、真空控制系統(tǒng)：直觀地反映整個真空抽氣過程的原理和各閥門工作狀態(tài)。

4、真空測量系統(tǒng)：采用數(shù)顯復(fù)合真空計測量系統(tǒng)的真空度，一路電離規(guī)和一路熱偶規(guī)構(gòu)成高、低真空測量。(儀器自帶2路熱偶規(guī),可根據(jù)需要安裝在不同位置,需額外增加配件.)熱偶規(guī)： 4.0x102Pa——1.0x10-1Pa電離規(guī)： 1.0x10-1Pa——1.0x10-5Pa

5、烘烤加熱系統(tǒng)：真空室烘烤和襯底加熱采用高品質(zhì)溫度控制器進行加熱控溫；

6、蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)：采用單相整流固態(tài)調(diào)壓方式控制蒸發(fā)鍍膜電源，蒸發(fā)電流調(diào)節(jié)及電壓、電流指示。

7、電源總控系統(tǒng)：整機的電源控制及工作狀態(tài)指示。

關(guān)鍵詞：加熱器真空計溫度控制器