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勻膠機

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更新時間：2023-11-13 12:21:20瀏覽次數(shù)：192次

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產(chǎn)品簡介

轉速 6000RPM轉速精準度 ≤1-4%RPM勻膠滴膠手臂控制步進馬達滴膠頭位置精準 ≤0.2mm

詳細介紹

產(chǎn)品介紹

1 )控制系統(tǒng)由PLC觸摸屏構成,故障率低,可靠性強,操作簡單,易于維護。
2 )傳動方式通過導軌絲桿傳動。
3 )主軸使用高速直流無刷電機,帶數(shù)字顯示,精確控制轉速。
4)自主設計開發(fā)薄膜式的噴膠泵,出膠穩(wěn)定,自帶回吸,保證了定量滴膠,可節(jié)省光刻膠用量。
5)效率高,雙軸運動方式，上料與下料單獨控制,采用雙加熱盤,降低等待時間。
6)設置靈活,多功能。通過一鍵設置,可將自動滴膠轉換為手動滴膠。
7 )熱板控溫方式為可控硅，自帶超溫保護系統(tǒng),熱板均勻性好。熱板采用頂針升降,方便硅片烘烤。

技術參數(shù)

轉速 6000RPM
轉速精準度 ≤1-4%RPM
勻膠滴膠手臂控制步進馬達
滴膠頭位置精準 ≤0.2mm

應用范圍

該設備為全自動_上下料勻膠設備,主要應用于3-5寸方形晶圓涂膠、烘干,采用標準片盒收放片,自動運行。該設備為單軌道形式，上料、涂膠、烘干、取料。