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MEMC2300系列質量流量控制器

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更新時間：2023-10-12 12:28:54瀏覽次數(shù)：152次

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廣州市唯量工控技術有限公司

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產(chǎn)品簡介

1. 適用范圍：氧氣O2 / 氮氣N2 / 氬氣Ar / 天然氣LNG等氣體。通徑DN3-DN20，壓力0-2.5Mpa，溫度 -20-80°C2. 技術特點：新一代微機電（MEMS）技術，自適應信號處理與控制技術，數(shù)值仿真技術設計。具有精度高、穩(wěn)定性好、響應快的特點。3. 主要功能：流量數(shù)據(jù)采集/處理、記錄/顯示，流速控制，時間控制，總流量控制。滿足就地、遠程監(jiān)測與控制需求。安裝......

詳細介紹

MEMC2300系列智能質量流量控制器 (Mass Flow Controller) 用于精準測量和控制氣體介質的質量流量。通過就地設定或遠程控制可使氣體介質的質量流量按照工藝過程要求自動穩(wěn)定在設定值上。質量流量基本不受壓力和溫度的影響, 具有精度高、重復性好的特點。質量流量控制器按照國家標準要求制造, 具有良好的兼容性和互換性。同時, MEMC2300系列智能質量流量控制器具備數(shù)據(jù)處理、記錄、顯示等相關功能, 還可實現(xiàn)NB-IOT物聯(lián)遠傳功能。該控制器安裝維護方便，包括底板安裝和DIN導軌安裝兩種安裝方式。

MEMC2300系列智能質量流量控制器主要應用于擴散、氧化、分子束外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入、真空鍍膜設備、光纖熔煉等光電半導體生產(chǎn)工藝，微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量氣象色譜儀等試驗室設備轡頭。且可用于石油化工、冶金、焊接、家電制造、制藥等行業(yè)過程控制。

MEMC2300系列智能質量流量控制器由質量流量計、比例電磁閥、信號處理與控制模塊三個部分構成。

質量流量計由本體、傳感器、信號處理與顯示模塊構成。

傳感器采用CMOS半導體工藝制造而成的MEMS微機電芯片。流量測量工作原理采用熱擴散原理, 芯片設加熱器, 加熱器的上下游兩側分別配置熱電堆, 熱電堆設測溫元件。加熱器和熱電堆陣列的底部設有空腔, 可高效檢測加熱器的熱量變化。加熱元件導入恒定電流后, 其附近區(qū)域形成相應的溫度場。介質流動使局部溫度場重新分布, 因為溫度場的變化與流體質量流量流速呈線性關系, 所以通過精確測量溫度場可反算出流體質量流速。傳感器應用熱擴散原理, 直接測量質量流量, 基本無需壓力、溫度補償，且將熱擴散應用至微米尺度, 因此采用該傳感器制造的質量流量計具有精度高、量程寬、靈敏、計量精準的特點。

流量計本體用于構造安全、準確的測量通道。而信號處理與顯示單元用于處理傳感器信號并將信號轉換成用戶需要的監(jiān)測數(shù)據(jù)顯示在LCD屏上。

比例電磁閥是電磁驅動的控制閥與流量計結合形成閉環(huán)流量控制系統(tǒng)，可以穩(wěn)定、精確地控制氣體流量。比例電磁閥是交、直流型供電的常閉閥, 磁滯低、重復性高、反應靈敏, 確保流量控制器良好的動態(tài)特性，且具有寬泛的Cv流量系數(shù)范圍。采用彈性閥座密封件, 閥門可保證氣密性關斷截止?？商峁┱w式卡套接頭用于安裝閥組。

信號處理與控制模塊與比例電磁閥、質量流量計形成閉環(huán)質量流量控制系統(tǒng)。該模塊采用性能優(yōu)良、可靠性高嵌入系統(tǒng)設計。集成了*的自適應控制算法, 可以有效抑制測量數(shù)據(jù)隨機誤差，因此系統(tǒng)具有響應迅速、精度高、穩(wěn)定性好的特點。

流量設定	在閥控狀態(tài)下，設定范圍為0~ 110% F.S.
流量讀取	讀取設定瞬時流量、實時瞬時流量、流量總量。
吹掃狀態(tài)	安裝氣路過程中清除管道內(nèi)的異物，確保管路的清潔。(注：不支持長時間使用)
截止關閉	實現(xiàn)管路關斷功能。(注：不支持長時間使用)
總量控制	控制介質總量達到設定值時自動關閉。
定時控制	在設定時間范圍內(nèi)控制流量。
實時記錄	記錄氣體流量，支持U盤存取。
實時曲線	瞬時流量的趨勢曲線。
介質選擇	實現(xiàn)一個MFC控制多種氣體。
分段流量控制	氣體流量曲線控制
注：流量設定與流量讀取基本功能可在質量流量控制器實現(xiàn)，其余為高級功能，需選配外接觸摸屏控制器實現(xiàn)。