SM-150 是手動(dòng)或半自動(dòng)薄膜涂覆的優(yōu)選，適用于表面沒有或有非常低形貌的基板涂膠作業(yè)。大多光刻膠與涂層材料都可被均勻涂覆到尺寸為150 mm (6")的晶圓或尺寸為127 × 127 mm (5" × 5")的基板上。工藝腔設(shè)計(jì)可滿足直徑為176 mm。

詳細(xì)介紹

● SM 系列的優(yōu)點(diǎn)在于，具有高度涂膜均勻性和工藝重復(fù)性，且操作簡(jiǎn)單、使用舒適。為了減少花費(fèi)在工藝腔清潔上的精力，SAWATEC 公司開發(fā)了一種實(shí)用且經(jīng)濟(jì)的工藝腔保護(hù)碗。工藝結(jié)束后，可簡(jiǎn)單地移除和清理這種保護(hù)碗。經(jīng)由如此的高品質(zhì)設(shè)計(jì)，也能將維護(hù)成本降低。因此，SAWATEC 勻膠機(jī)可被優(yōu)先應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)室、研發(fā)、試產(chǎn)項(xiàng)目及研究所。

● 該勻膠機(jī)可提供便攜桌上式和內(nèi)嵌式兩種方式。

產(chǎn)品功能

● 可編程，最多 50 個(gè)程序，適用于重復(fù)工藝的快速啟動(dòng)功能

● 觸摸屏面板控制，方便用戶程序配置

● 工藝參數(shù)：轉(zhuǎn)速、加速度、工藝時(shí)間

● 旋轉(zhuǎn)方向可選（順時(shí)針、逆時(shí)針）

● 手動(dòng)裝卸基板

● 通過具有安全保護(hù)的真空系統(tǒng)進(jìn)行基板固定

● 手動(dòng)蓋子帶有空氣入口和閉合安全保護(hù)

性能參數(shù)

● 轉(zhuǎn)速范圍：0 到 10,000rpm +/-1rpm

● 工藝時(shí)間最長(zhǎng)為 2376 s

● 每個(gè)程序段的給膠時(shí)間為 99 s

附加功能（可選項(xiàng)）

● 半自動(dòng)的管式給膠系統(tǒng)

● 工藝腔的手動(dòng)氮?dú)鈨艋b置

● 用于簡(jiǎn)化操作的“啟動(dòng)/停止"腳踏開關(guān)

● 經(jīng)陽極電鍍處理的鋁制工藝腔

● 鋁制或 PE（聚乙烯）材料制成的工藝腔保護(hù)碗

● 用于 SM-150 勻膠機(jī)的真空泵

● 晶圓定位器 2" – 6" (圓形)

旋轉(zhuǎn)卡盤分類

● 為了達(dá)成良好的涂覆效果，SAWATEC 提供了不同尺寸、材料和設(shè)計(jì)的旋轉(zhuǎn)卡盤。根據(jù)用途的不同，可使用單塊結(jié)構(gòu)或具有光學(xué)輔助置中功能的兩部分構(gòu)成的旋轉(zhuǎn)卡盤。為避免基板背面被弄臟，有時(shí)不僅要選擇好的旋轉(zhuǎn)卡盤尺寸，還要采用專門的卡盤設(shè)計(jì)。旋轉(zhuǎn)卡盤的更換過程非常簡(jiǎn)單，不需要使用工具。