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DSN-MFC微小氣體質量流量控制器

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更新時間：2023-08-31 19:57:43瀏覽次數：258次

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產品簡介

詳細介紹

　　DSN-MFC氣體質量流量控制器(MFC)
　　DSN系列氣體質量流量控制器, 即稱Mass Flow Controller（縮寫為MFC）, 不但具有質量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據需要進行流量設定，MFC自動地將流量恒定在設定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。簡單地說,質量流量控制器就是一個穩(wěn)流裝置, 是一個可以手動設定或與計算機聯接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。
　　標準量程（N2）；0～1，5、10，50，100，200，500，1000sccm；
　　準精度：±1％F.S；重復精度：±0.2%F.S
　　響應時間：電特性＜10sec 氣特性＜1～4sec
　　線性：±（0.5～1）％F.S 工作壓差范圍：0.05～0.3MPa
　　耐壓：3，10MPa；工作環(huán)境溫度：5～65℃
　　輸入輸出信號電壓：0～+5.00V(輸入阻抗大于100K，輸出電流不大于3mA
　　電源：+15V500mA、-15V500mA電連接器：D14pin
　　外形尺寸：130*28*121mm
　　重量：約1.0kg
　　接口尺寸：Swagelok :Φ3.Φ6.Φ1/16〞Φ1/8.....
　　VCR接頭:Φ1/4〞.Φ1/8〞........