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更新時(shí)間：2024-02-06 13:52:01瀏覽次數(shù)：181次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 環(huán)保在線在氣體面板、氣體柜和晶圓加工需要超純氣體的任何地方進(jìn)行的微粒過濾
在氣體面板、氣體柜和晶圓加工需要超純氣體的任何地方進(jìn)行的微粒過濾。
| 材料 | 濾芯 | 由模制 PFA 結(jié)構(gòu)支撐的疏水性 PTFE 膜 |
| 住房 | 電拋光 316L 不銹鋼 | |
| 下游清潔度 | 粒子 | <0.03><1>3) >0.01µm |
| 揮發(fā)物 | <10 ppb=""> | |
| 移除等級(jí) | 0.0015 微米 | |
| 表面處理內(nèi)飾 | ≤10 微英寸 Ra | |
| 氦泄漏等級(jí) | 合格的 | 2 × 10 -10 atm/cc-sec |
| 已測(cè)試 | 1 × 10 -9 atm/cc-sec | |
| 濃度分辨率 | ±0.015 ppm | |
| 運(yùn)行條件 | 入口壓力： | 20.7 兆帕（207 巴；3000 磅/平方英寸）@ 23°C (73°F) |
| 正向壓差： | 0.4 MPa（4 巴；60 psid）@ 23°C（73°F） | |
| 壓差： | 0.07 兆帕（0.7 巴；10 磅/平方英寸）@ 23°C (73°F) | |
| 工作溫度： | 120°C (248°F) | |
| 顆粒保留 | 大于 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒 @ 100 slpm（以穿透性的顆粒尺寸為參考） | |
| 流量等級(jí) | 參考性能數(shù)據(jù) | |
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