電阻式熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)

返回列表頁

參考價(jià)

面議

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地

在線詢價(jià) 收藏產(chǎn)品查看聯(lián)系電話

聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2023-04-09 17:04:06瀏覽次數(shù)：363次

聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自環(huán)保在線

產(chǎn)品分類 品牌分類

  電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)

全部產(chǎn)品列表

暫無信息

上海載德半導(dǎo)體技術(shù)有限公司

經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：2條

所在地區(qū)：

詢價(jià) 給他留言

產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品概要： VS5電阻式熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)是英國牛津真空公司生產(chǎn)，臺(tái)式設(shè)計(jì)、軟件自動(dòng)操控、高性價(jià)比，非常適合實(shí)驗(yàn)室科研使用。通過加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面，稱為熱蒸發(fā)鍍膜，熱蒸發(fā)鍍膜技術(shù)是歷史最悠久的PVD鍍膜技術(shù)之一。熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)一般主要用于蒸發(fā)Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。以下為蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的示意圖。

詳細(xì)介紹

VS5電阻式熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)是英國牛津真空公司生產(chǎn)，臺(tái)式設(shè)計(jì)、軟件自動(dòng)操控、高性價(jià)比，非常適合實(shí)驗(yàn)室科研使用。
通過加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面，稱為熱蒸發(fā)鍍膜，熱蒸發(fā)鍍膜技術(shù)是歷史最悠久的PVD鍍膜技術(shù)之一。熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)一般主要用于蒸發(fā)Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。以下為蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的示意圖。

技術(shù)規(guī)格：
- 基底尺寸：3英寸，4英寸，6英寸；
- 基底旋轉(zhuǎn)：0~10rpm；
- 熱蒸發(fā)源：電阻式熱蒸發(fā)舟，交流電源；
- 腔體：不銹鋼或石英腔體可供客戶選擇；
- 泵：前級(jí)干泵，分子泵；
- Load Lock樣品傳輸腔室：手動(dòng)或自動(dòng)傳輸，高真空，支持多種樣品襯底(選配)；
- 工藝控制：PC/PLC機(jī)制的自動(dòng)控制、數(shù)據(jù)處理、遠(yuǎn)程支持；
- 原位監(jiān)控：石英晶振監(jiān)測(cè)(QCM)，光學(xué)監(jiān)測(cè)，殘余氣體分析，其他原位監(jiān)測(cè)技術(shù)或控制；
- 襯底固定：單襯底固定，客戶化襯底固定方式；
- 襯底夾具：加熱，冷卻，偏置，旋轉(zhuǎn)等；