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更新時(shí)間：2023-10-06 10:45:10瀏覽次數(shù)：174次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 環(huán)保在線(xiàn)產(chǎn)品詳情規(guī)格參數(shù)：?旋涂基材6英寸或更小?包括三個(gè)真空旋轉(zhuǎn)卡盤(pán)?用于手套箱的占地面積小?易于使用的觸摸屏界面?可編程旋涂工藝?耐用的設(shè)計(jì)以及耐化學(xué)腐蝕的材料?耐化學(xué)腐蝕HDPE旋轉(zhuǎn)碗?耐用的不銹鋼機(jī)身
規(guī)格參數(shù)：
?旋涂基材6英寸或更小
?包括三個(gè)真空旋轉(zhuǎn)卡盤(pán)
?用于手套箱的占地面積小
?易于使用的觸摸屏界面
?可編程旋涂工藝
?耐用的設(shè)計(jì)以及耐化學(xué)腐蝕的材料
?耐化學(xué)腐蝕HDPE旋轉(zhuǎn)碗
?耐用的不銹鋼機(jī)身，具有耐化學(xué)腐蝕的透明旋轉(zhuǎn)蓋
?4.3"觸摸屏界面
?基板尺寸：從1厘米到6英寸晶圓
?轉(zhuǎn)速范圍：100-12000 RPM
?轉(zhuǎn)速分辨率：1RPM
?加速范圍：空載100-30000 RPM / s
?程序：10個(gè)旋轉(zhuǎn)程序，每個(gè)程序有10個(gè)步驟
?安全：真空聯(lián)鎖和旋轉(zhuǎn)蓋聯(lián)鎖
?尺寸：270(W)*387(D)*258(H)
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