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上海正晞儀器設備有限公司
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研究型硅片檢測顯微鏡ZXGP-500系列
一、用途
ZXGP-500系列明暗場硅片檢測顯微鏡是適用于對太陽能電池硅片的顯微觀察。本儀器配有大移動范圍的載物臺、落射照明器、長工作距離的平場消色差物鏡、大視野目鏡，圖像清晰、襯度好，同時配有偏光裝置，及其高像素的數碼攝像頭. 本儀器配有暗場物鏡,使觀察硅片時圖像更加清晰,是檢測太陽能電池硅片的"金字塔" 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器.
硅片檢測顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測的位錯、劃痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質、殘留物成分分析.雜質包括: 顆粒、有機雜質、無機雜質、金屬離子、硅粉粉塵等，造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍、發(fā)黑等現象，使磨片不合格. 是太陽能電池硅片生產過程中常用的檢測儀器之一。
技術標準
標準配置 | 大視野 WF10X(視場數Φ22mm) 無限遠長工作距離平場消色差物鏡 | ||
PL L10X/0.25 工作距離：20.2 mm | |||
PL L60X/0.70 工作距離：3.18 mm | |||
目鏡筒 | |||
調焦機構 | |||
轉換器 | |||
載物臺 | |||
落射照明系統(tǒng) | |||
配置黃、藍、綠濾色片與磨砂玻璃片 | |||
透射照明系統(tǒng) | |||
集光鏡中內置視場光欄 | |||
6V30W鹵素燈、亮度可調 | 防霉系統(tǒng)
| 電腦型(ZXGP-500C) | |
數碼型(ZXGP-500E) | |||
可選配件 | |||
目鏡 | |||
物鏡 | |||
CCD接頭 | |||
攝像儀 | |||
數碼相機接頭 | |||
分析軟件 | 二維圖像測量分析軟件 | ||
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