BMT-500大平臺(tái)硅片檢測(cè)顯微鏡是適用于對(duì)太陽(yáng)能電池硅片的顯微觀察。本儀器配有大移動(dòng)范圍的載物臺(tái)、落射照明器、長(zhǎng)工作距離的平場(chǎng)消色差物鏡、大視野目鏡，圖像清晰、襯度好，同時(shí)配有偏光裝置，及其高像素的數(shù)碼攝像頭.是檢測(cè)太陽(yáng)能電池硅片的"金字塔" 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器.硅片檢測(cè)顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測(cè)的位錯(cuò)、劃痕、崩邊等;還可以對(duì)硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析.雜質(zhì)包括: 顆......

詳細(xì)介紹

一、用途：
BMT-500大平臺(tái)硅片檢測(cè)顯微鏡是適用于對(duì)太陽(yáng)能電池硅片的顯微觀察。本儀器配有大移動(dòng)范圍的載物臺(tái)、落射照明器、長(zhǎng)工作距離的平場(chǎng)消色差物鏡、大視野目鏡，圖像清晰、襯度好，同時(shí)配有偏光裝置，及其高像素的數(shù)碼攝像頭.是檢測(cè)太陽(yáng)能電池硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器.硅片檢測(cè)顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測(cè)的位錯(cuò)、劃痕、崩邊等;還可以對(duì)硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析.雜質(zhì)包括: 顆粒、有機(jī)雜質(zhì)、無機(jī)雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等，造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍(lán)、發(fā)黑等現(xiàn)象，使磨片不合格. 是太陽(yáng)能電池硅片生產(chǎn)過程中的檢測(cè)儀器之一.
二、技術(shù)參數(shù)
1.目鏡
類別放大倍數(shù) 視場(chǎng)(mm)
大視野目鏡 10X φ18
2.物鏡
類型放大倍數(shù) 數(shù)值孔徑NA 工作距離（mm）
物鏡 4X 0.10 18.3
10X 0.25 8.9
PC20X 0.40 8.7
PC40X 0.65 3.7
3.光學(xué)放大倍數(shù)：40X -- 500X
4.濾色片組：黃色、藍(lán)色、綠色、磨砂玻璃
5.偏光裝置：可插入式起偏振片和三目頭內(nèi)置檢偏振片
6.載物臺(tái)：(配有快速移動(dòng)裝置)尺寸：400*300mm 移動(dòng)范圍：254*254mm[標(biāo)配]
7.粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)，微動(dòng)手輪格值：0.002mm
8.落射照明器：12V/20W鹵素?zé)?，亮度可調(diào)
9.防霉：*的防霉系統(tǒng)
10.成像系統(tǒng):日本專業(yè)進(jìn)口攝像頭或500萬高像素的數(shù)字?jǐn)z像頭
三、系統(tǒng)組成
電腦型硅片檢測(cè)顯微鏡(BMT-500E): 1、硅片顯微鏡 2、適配鏡 3、攝像器(CCD) 4、A/D(圖像采集) 5、驅(qū)動(dòng)軟件 6、數(shù)據(jù)線 7、計(jì)算機(jī)(選配)
四、總放大參考倍數(shù)
電腦型硅片檢測(cè)顯微鏡(BMT-500E)：50--4000倍（17寸顯示器為例）
五、選購(gòu)件
1.硅片專用測(cè)量軟件 2.目鏡： 20X 10X(帶刻度)