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NE-PE05小型等離子體表面處理儀

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更新時間:2023-03-17 14:52:55瀏覽次數(shù):275次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品簡介:產(chǎn)品簡介:NE-PE05 是一款小型真空等離子處理系統(tǒng),廣泛應用于科研院校,企業(yè)研發(fā)單位···

詳細介紹

等離子源-2.png

NE-PE05是一款小型真空等離子體表面處理儀,廣泛應用于科研院校,企業(yè)研發(fā)單位和小批量生產(chǎn)打 樣。設備采用進口品牌高性能旋片真空泵快速產(chǎn)生一個小于 1-2 Pa 的真空壓強,同時根據(jù)客戶工 藝要求,對真空反應腔室內(nèi)通入不同的混合工藝氣體,采用進口高品質(zhì)等離子發(fā)生器,使得通入 的工藝氣體產(chǎn)生等離子體,并 確保穩(wěn)定產(chǎn)生高密度,高能量 的離子。等離子體與材料發(fā)生 復雜的物理,化學反應,可以 實現(xiàn)不同的工藝功能,比如清 洗,活化,刻蝕與涂敷等。等 離子態(tài)顯著的特點是高均勻性 輝光放電,根據(jù)不同氣體發(fā)出 從藍色到深紫色的色彩可見光。

等離子體表面處理儀功能特點:

?耐用的高品質(zhì)不銹鋼結構和固定裝置 

?雙層托盤設計,可調(diào)節(jié)托盤間距

?8K 鏡面不銹鋼腔體,密封性 

?可支持 13.56 MHz 射頻發(fā)生器,與網(wǎng)絡自動匹配(只對真空泵在系統(tǒng)外部)

?直觀的觸摸屏,過程參數(shù)實時監(jiān)控。 

?方便的定期校準設備連接驗證過程中使用的要求 

?支持各種工藝氣體,包括氬氣,氧,氫,氦和氟化氣體 

?通過聯(lián)鎖門或可移動的板 

?兩個標準的電子質(zhì)量流量控制器的氣體控制,有兩個額外控制器的選擇 ( 4 個)

等離子體表面處理儀產(chǎn)品參數(shù):

序號項目型號規(guī)格參數(shù)
1等離子發(fā)生器
功率0-300W可調(diào)
抗輻射干擾高頻匹配器自動阻抗匹配,遠程通信控制
頻率40KHz 
2
真空反應腔室腔體材質(zhì)進口 316 不銹鋼,級密封
腔體容積5L
電極數(shù)量1 個鍍金鋁合金專用電極+1 個不銹鋼 托盤
腔體直徑(圓形)150(W)×280(D)mm
有效處理范圍130(W)*245(D)mm
絕緣陶瓷進口高頻陶瓷
3氣路控制
氣體流量控制器浮子針閥流量控制器, 0-500ML
氣路數(shù)量最小 2 路氣體,支持氧氣,氬氣,氮 氣,氫氣,四氟化碳等
4整機參數(shù)
整機功率1000W
外形尺寸長*寬*高 : 600mm(L)×450mm(W) ×450 mm(H)

等離子體表面處理儀產(chǎn)品應用:

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