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4D 菲索型相移干涉儀 AccuFiz E高分辨型

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產(chǎn)品型號(hào)AccuFiz E

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品介紹AccuFiz干涉儀，面世于2011年，是重點(diǎn)針對(duì)波前中高頻特征測(cè)量的高分辨菲索干涉儀，光學(xué)系統(tǒng)采用衍射極限設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了高傳函，低噪聲；同時(shí)AccuFiz干涉儀借鑒了4D公司在動(dòng)態(tài)相移干涉技術(shù)上的成功經(jīng)驗(yàn)，沿用其核心算法，采用動(dòng)態(tài)載波相移技術(shù)，可在氣流擾動(dòng)和振動(dòng)條件下實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量，這一技術(shù)使得AccuFiz可以解決大部分的動(dòng)態(tài)測(cè)量問題

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹

AccuFiz干涉儀，面世于2011年，是重點(diǎn)針對(duì)波前中高頻特征測(cè)量的高分辨菲索干涉儀，光學(xué)系統(tǒng)采用衍射極限設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了高傳函，低噪聲；同時(shí)AccuFiz干涉儀借鑒了4D公司在動(dòng)態(tài)相移干涉技術(shù)上的成功經(jīng)驗(yàn)，沿用其核心算法，采用動(dòng)態(tài)載波相移技術(shù)，可在氣流擾動(dòng)和振動(dòng)條件下實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量，這一技術(shù)使得AccuFiz可以解決大部分的動(dòng)態(tài)測(cè)量問題。

AccuFiz干涉儀也是一款緊湊、輕巧的菲索干涉儀，可以滿足多樣的測(cè)量需求，是一款性價(jià)比很高的干涉儀。具有以下特點(diǎn)：

- 衍射極限光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)，提供高空間分辨率，可清晰看到樣品表面中高頻特征

- 動(dòng)態(tài)載波相移技術(shù)，實(shí)現(xiàn)在氣流擾動(dòng)和振動(dòng)條件下的高精度測(cè)量

- 可接短相干光源模塊，直接測(cè)量平行平面面形，可測(cè)大于300微米厚樣品

常規(guī)屬性

系統(tǒng)結(jié)構(gòu)：菲索型干涉儀

采集模式：機(jī)械相移式，動(dòng)態(tài)載波相移式

工作波段：穩(wěn)頻He-Ne光源

可選：532nm、1053nm、1064nm、1550nm（SWIR）、3-5µm（MWIR）、µm（LWIR）

光源：光源尺寸連續(xù)可調(diào)，降低相干噪聲

可接入短相干光源、高功率光源

光束口徑：標(biāo)準(zhǔn)4英寸、6英寸；定制大口徑：12英寸、18英寸、24英寸

相機(jī)像素：1200 x 1200 pixels或2400 x 2400 pixels， 12bit

變倍：1-10X Smart ZoomTM

外形尺寸：4英寸： x x cm

6英寸： x x cm

重量：4英寸：；6英寸：

系統(tǒng)性能

條紋分辨率：相機(jī)：接近500對(duì)；6MP相機(jī)：接近1000對(duì)

空間頻率響應(yīng)： ITF > ，@ 500 cyc/AP for MP 相機(jī); 1000 cyc/AP for 6 MP 相機(jī)

RMS重復(fù)性：
RMS精密度： waves（）RMS*

最小曝光時(shí)間：10µs

樣品反射率：1-99%（需衰減）

*采用10個(gè)數(shù)據(jù)RMS值的1σ方差作為結(jié)果；每個(gè)數(shù)據(jù)是16次測(cè)試的平均

采用10個(gè)數(shù)據(jù)，每個(gè)數(shù)據(jù)是16次測(cè)試的平均；以這10個(gè)數(shù)據(jù)的平均值作為參考值；以每一個(gè)數(shù)據(jù)與參考值的差來計(jì)算RMS平均作為結(jié)果

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