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OKAMOTO GNX200BP晶圓研磨

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OKAMOTOGNX200BP晶圓研磨/晶圓減薄特點(diǎn)：GNX200BP是一款持續(xù)向下進(jìn)給式減薄設(shè)備，采用機(jī)械臂傳送硅片，減薄完成后，有兩個(gè)獨(dú)立的清洗腔，清洗效果更佳

詳細(xì)介紹

OKAMOTO GNX200BP晶圓研磨/晶圓減薄特點(diǎn)：

GNX200BP是一款持續(xù)向下進(jìn)給式減薄設(shè)備，采用機(jī)械臂傳送硅片，減薄完成后，有兩個(gè)獨(dú)立的清洗腔，清洗效果更佳。工作盤(pán)轉(zhuǎn)速、主軸轉(zhuǎn)速、主軸下壓速度都可調(diào)，有助于平衡產(chǎn)量、減薄品質(zhì)、磨輪壽命。采用兩點(diǎn)式實(shí)時(shí)測(cè)厚儀測(cè)量主軸1和主軸2下的硅片厚度，采用3點(diǎn)測(cè)控主軸角度調(diào)整機(jī)構(gòu)來(lái)控制加工的平整度(TTV)。減薄工序完成后，硅片即會(huì)被自動(dòng)傳送的拋光腔，經(jīng)過(guò)拋光工序，去除硅片表面損傷，提高晶圓強(qiáng)度，可以加工50μm的晶圓。

OKAMOTO GNX200BP晶圓研磨/晶圓減薄規(guī)格參數(shù)：

支持wafer尺寸	8英寸
主軸形式	空氣主軸，3600rpm
主軸驅(qū)動(dòng)電機(jī)功率	2.2kW/4kW
磨輪直徑	250mm
工作臺(tái)數(shù)量	3個(gè)工作臺(tái)
工作臺(tái)形式	機(jī)械軸(標(biāo)配)承或空氣軸承(選配)
工作臺(tái)轉(zhuǎn)速	1-600rpm
測(cè)厚機(jī)構(gòu)	2點(diǎn)接觸式測(cè)厚機(jī)構(gòu)
測(cè)厚精度	1um
測(cè)厚范圍	0-1.2mm
料盒數(shù)量	每個(gè)工作單元(減薄&拋光)各2個(gè)料盒
拋光機(jī)構(gòu)功率	3kW 交流伺服電機(jī)(0-460rpm)
拋光波速	100-8000mm/min
拋光壓力	50-999g/cm2
拋光磨輪尺寸	200mm
拋光臺(tái)轉(zhuǎn)速	50-200rpm
真空盤(pán)材質(zhì)	氧化鋁邊框+陶瓷氣孔盤(pán)
自潔方式	水沖+刷洗