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OKAMOTO GNX200BP晶圓研磨

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具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地上海

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更新時間:2024-06-12 09:25:54瀏覽次數(shù):104次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:635條

所在地區(qū):

產(chǎn)品簡介

OKAMOTOGNX200BP晶圓研磨/晶圓減薄特點:GNX200BP是一款持續(xù)向下進給式減薄設備,采用機械臂傳送硅片,減薄完成后,有兩個獨立的清洗腔,清洗效果更佳

詳細介紹

OKAMOTO GNX200BP晶圓研磨/晶圓減薄特點:


GNX200BP是一款持續(xù)向下進給式減薄設備,采用機械臂傳送硅片,減薄完成后,有兩個獨立的清洗腔,清洗效果更佳。工作盤轉速、主軸轉速、主軸下壓速度都可調,有助于平衡產(chǎn)量、減薄品質、磨輪壽命。采用兩點式實時測厚儀測量主軸1和主軸2下的硅片厚度,采用3點測控主軸角度調整機構來控制加工的平整度(TTV)。減薄工序完成后,硅片即會被自動傳送的拋光腔,經(jīng)過拋光工序,去除硅片表面損傷,提高晶圓強度,可以加工50μm的晶圓。



OKAMOTO GNX200BP晶圓研磨/晶圓減薄規(guī)格參數(shù):


支持wafer尺寸

8英寸

主軸形式

空氣主軸,3600rpm

主軸驅動電機功率

2.2kW/4kW

磨輪直徑           

250mm

工作臺數(shù)量

3個工作臺

工作臺形式

機械軸(標配)承或空氣軸承(選配)

工作臺轉速

1-600rpm

測厚機構

2點接觸式測厚機構

測厚精度

1um

測厚范圍

0-1.2mm

料盒數(shù)量

每個工作單元(減薄&拋光)各2個料盒

拋光機構功率

3kW 交流伺服電機(0-460rpm)

拋光波速100-8000mm/min
拋光壓力50-999g/cm2
拋光磨輪尺寸200mm
拋光臺轉速50-200rpm
真空盤材質氧化鋁邊框+陶瓷氣孔盤
自潔方式水沖+刷洗



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