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霍茲儀器技術(shù)（上海）有限公司
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所 在 地上海
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更新時(shí)間：2023-02-06 08:28:03瀏覽次數(shù)：285次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 環(huán)保在線硅片熱臺(tái) RT400XRD
溫度范圍：室溫～400℃
加熱平臺(tái)：φ200mm
平面射角：-40°≤α≤40°，射線垂面射角：-2°≤β≤70°
升溫速率<5℃/min
主測(cè)溫：熱電偶，紅外測(cè)溫（輔助）
溫度顯示/控制精度：0.1℃/0.5℃
實(shí)驗(yàn)環(huán)境：腔體密閉，可充氣氛
冷卻方式：循環(huán)水冷
溫度控制：調(diào)節(jié)器精度0.2級(jí)，PID人工智能控制，50段程序
溫控軟件：中英文界面切換，實(shí)時(shí)操控，多點(diǎn)溫度校正、可設(shè)置溫速、控溫區(qū)間等，工藝曲線顯示與記錄
運(yùn)動(dòng)控制儀：一軸熱臺(tái)水平移動(dòng)，一軸熱臺(tái)旋轉(zhuǎn)，一軸紅外測(cè)溫移動(dòng)。手動(dòng)或軟件操控。
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