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產(chǎn)品簡介

臺(tái)階儀集合了共焦光學(xué)形貌儀，WLI白光干涉形貌儀，原子力顯微鏡，接觸和非接觸式雙模式表面形貌檢測

詳細(xì)介紹

臺(tái)階儀

集合了共焦光學(xué)形貌儀，WLI白光干涉形貌儀，原子力顯微鏡，接觸和非接觸式雙模式表面形貌檢測。

技術(shù)參數(shù)

項(xiàng)目簡述	參數(shù)說明
共焦	可快速垂直掃描的旋轉(zhuǎn)共焦技術(shù)。使用高數(shù)值孔徑 (0.95) 以及高倍數(shù)的 (150倍) 全視野3D鏡頭，用以表征坡度分析 (超大斜率<干涉測量>: 72°vs 44°) 。具有光學(xué)形貌上超高的橫向分辨率，附有5百萬自動(dòng)分辨率的CCD相機(jī)，空間下樣可調(diào)至0.05um，是表面特征以及形貌的測量的理想配置。在測量表面粗糙度/表面反射率上無限制應(yīng)用于透明層/薄膜。兼容亮視野&暗視野; 光學(xué)DIC。長距離遠(yuǎn)攝鏡頭是用以測量高縱橫比以及坡度特性的理想之選。高穩(wěn)定性。
干涉儀（WLI）	Z向高分辨率兼具相移（PSI）以及垂直掃描（VSI）模式 Z向分辨率可獨(dú)立放大四色CCD 相機(jī)，用戶可自選的LED光源 (白光、綠光、藍(lán)光和紅光) 高達(dá)五百萬像素的可自動(dòng)分辨的CCD 相機(jī) 快速處理器自動(dòng)對(duì)焦
原子力顯微鏡	探針掃描可用于大型模板 X、Y、Z三向可達(dá)原子級(jí)分辨率大壓電探針掃描XY: 達(dá)到 110x110um
變焦	粗糙表面分析快速分析一臺(tái)設(shè)備上集成非接觸式白光干涉形貌儀高精度原子力顯微鏡

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