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Chotest VT6000 共聚焦顯微鏡

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更新時間:2023-02-23 14:31:11瀏覽次數(shù):380次

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產(chǎn)品簡介

Chotest VT6000 共聚焦顯微鏡

詳細(xì)介紹

  • 產(chǎn)品型號:VT6000
  • 產(chǎn)品名稱:共聚焦顯微鏡
  • 視場范圍:160×160μm~1.6×1.6mm

  • 掃描幀率:≥10HZ

    高度測量精度:±(0.2+L/100)μm

    寬度測量精度±2%

    XY移動范圍100×100mm

  • Z向移動范圍100mm

  • 主要特點:高速并行掃描,高精度、高重復(fù)性

    一、產(chǎn)品簡介

      VT6000共聚焦顯微鏡是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行納米級測量的檢測儀器。它是以共聚焦技術(shù)為原理、結(jié)合多孔盤并行掃描技術(shù)、精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。

      VT6000共聚焦顯微鏡可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、工、科研院所等領(lǐng)域中。可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。

    二、應(yīng)用領(lǐng)域

      對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

    應(yīng)用:

    半導(dǎo)體.拋光硅片、減薄硅片、晶圓IC

    3C電子.藍(lán)寶石玻璃粗糙度、手機(jī)金屬殼模具瑕疵、手機(jī)油墨屏高度差

    超精密加工.光學(xué)透鏡

    精密加工.發(fā)動機(jī)葉片

    精密加工.金字塔型金剛石磁頭

    標(biāo)準(zhǔn)樣塊.單刻線臺階、多刻線粗糙度

    懇請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

關(guān)鍵詞:共聚焦顯微鏡 顯微鏡
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