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行業(yè)產(chǎn)品

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上海奇琳實業(yè)有限公司


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SFM/SFC5400系列質(zhì)量流量計/控制器

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更新時間：2023-01-18 07:01:00瀏覽次數(shù)：522次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：11條

所在地區(qū)：

產(chǎn)品簡介

技術(shù)規(guī)格：

詳細(xì)介紹

技術(shù)規(guī)格：

?　超快響應(yīng)和穩(wěn)定時間（50毫秒）

?　優(yōu)良的精度/重復(fù)性(分別為測量讀數(shù)的0.8%/0.1%)

?　很寬的動態(tài)范圍 (量程比可達(dá)1000：1)

?　多種數(shù)據(jù)接口可供選擇：RS485, DeviceNet, IO-Link和模擬電壓/電流

?　多種機(jī)械連接可供選擇：Swagelok, VCR, VCO, Legris, C-Seal, W-Seal

?　實標(biāo)的多種氣體和氣體識別

?　美國國家標(biāo)準(zhǔn)及技術(shù)研究所的可追溯校準(zhǔn)

?　MTBF169年-無需再校準(zhǔn)


應(yīng)用領(lǐng)域：
SFC5400/SFM5400產(chǎn)品的優(yōu)異性能使其成為分析儀器、涂層/蝕刻設(shè)備、醫(yī)療設(shè)備和過程自動化等廣泛應(yīng)用的。


儀表參數(shù)：

參數(shù)值單位
流量范圍  0.05, 0.1, 0.2,  0.5, 1, 2, 5, 1020, 50, 100, (200 ①) ln/min or slm
精度 ② 0.81% s.p.③
兩者以較大者為準(zhǔn)  0.080.1% FS
重復(fù)性  0.10.2% s.p.
兩者以較大者為準(zhǔn)  0.010.02% FS
穩(wěn)定時間典型值 ④ 100  (50 for optimized OEM versions ⑤)ms
取樣頻率  1000Hz
量程比 ⑥ 超過  1000:1
標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)定氣體  Air/N2, H2, O2, He, Ar, CO2
用氣體轉(zhuǎn)換標(biāo)定的氣體 ⑦ 標(biāo)準(zhǔn):  SF6, C4F8
OEM版，可根據(jù)要求與其他氣體或混合物
工作溫度(環(huán)境和氣體)  0 –  50 / 32 – 122°C / °F
Temp. coeff. zero  0.005% FS / °C
Temp. coeff. span  0.06% s.p. / °C
全量程壓降：SFC5400  < 2.0 / 29< 3.0 / 43bar /  psig
全量程壓降：SFM5400  < 0.1 / 1.5< 0.2 / 3
輸入壓力 ⑧ 10 /  145bar / psig
差壓 ⑨ 5 / 734 / 58bar / psig
MFC外部泄漏  9 x 10-99 x 10-6mbar l/s He
電磁閥泄露量  1 x  10-6mbar l/s He
熱機(jī)時間 ⑩ 1sec

① 精度會降低；

② 包括偏移、非線性和遲滯。根據(jù)NIST可追蹤基準(zhǔn)測量；

③ 讀數(shù)%=測量點精度=流量=讀數(shù)；

④ 設(shè)定點5%精度內(nèi)流量從10%到99%的響應(yīng)時間，具有模擬接口的質(zhì)量流量控制器由于模擬電路延遲(通常由因子2)而需要較長的穩(wěn)定時間；

⑤ 50個最小年用量；

⑥ 參數(shù)只適用于質(zhì)量流量控制器。具有模擬接口的設(shè)備的性能取決于布線質(zhì)量，通常不超過500：1；

⑦ 氣體轉(zhuǎn)換是利用標(biāo)準(zhǔn)氣體的組合從實際的氣體校準(zhǔn)數(shù)據(jù)中產(chǎn)生的。典型的準(zhǔn)確度為2%M.V。/0.2%FS(以較大者為準(zhǔn))。

⑧ 進(jìn)氣道與周圍環(huán)境的壓力差；

⑨ 進(jìn)氣口和出口之間的壓差。

⑩ 讀數(shù)穩(wěn)定到設(shè)定點的2%精度內(nèi)的時間。


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