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VDP系列變螺距螺桿真空泵

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概述  VDP系列變螺距螺桿真空泵采用的三段式變螺距轉(zhuǎn)子型線,高效節(jié)能、運(yùn)行可靠,極限真空可達(dá)1.33Pa,可在大氣壓到極限壓力間的任何壓力下高效持續(xù)工作?! DP系列采用變螺距干式螺桿技術(shù),壓縮腔無需水或其他任何工作介質(zhì),避免泵送介質(zhì)的冷凝和沉積,并且防止介質(zhì)被油水污染,可獲得潔凈真空。廣泛應(yīng)用于制藥、電子、化工、食品加工領(lǐng)域中的溶劑回收、真空干燥、真空蒸餾等工藝中。技術(shù)特點(diǎn)  吸入效率......

詳細(xì)介紹

概述

  VDP系列變螺距螺桿真空泵采用的三段式變螺距轉(zhuǎn)子型線,高效節(jié)能、運(yùn)行可靠,極限真空可達(dá)1.33Pa,可在大氣壓到極限壓力間的任何壓力下高效持續(xù)工作。

  VDP系列采用變螺距干式螺桿技術(shù),壓縮腔無需水或其他任何工作介質(zhì),避免泵送介質(zhì)的冷凝和沉積,并且防止介質(zhì)被油水污染,可獲得潔凈真空。廣泛應(yīng)用于制藥、電子、化工、食品加工領(lǐng)域中的溶劑回收、真空干燥、真空蒸餾等工藝中。

技術(shù)特點(diǎn)

  吸入效率提高15%

  極限真空可達(dá)1.33Pa

  三段式可變螺距,節(jié)能可達(dá)35%

  高效夾套水冷降低排氣溫度50%

  G1級(jí)轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡,低噪音、低振動(dòng)、無慣性力,可高速運(yùn)穩(wěn)定行

  結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、易保養(yǎng)、低維護(hù)費(fèi)用,壽命長

  可選用機(jī)械密封、唇形密封,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,密封可靠,確保零泄漏

  耐腐性能好,介質(zhì)接觸部位可噴涂哈氏合金涂層、特氟龍涂層、鎳基碳化鎢涂層

  強(qiáng)腐蝕工況,泵體、螺桿等接觸物料的部件材質(zhì)可采用雙相不銹鋼、316L不銹鋼等

  運(yùn)行范圍廣,可在大氣壓到極限壓力間的任何壓力下持續(xù)工作

  可與羅茨泵、分子泵等串聯(lián)使用,在高真空工況下獲得高抽速。

工作原理

  是一種變螺距雙螺桿真空泵。一對(duì)螺桿轉(zhuǎn)子在腔體內(nèi)旋轉(zhuǎn)。泵送的介質(zhì)被螺桿捕獲,經(jīng)壓縮后輸送至排氣口。在壓縮過程中,螺桿轉(zhuǎn)子間不相互接觸,也不與腔體接觸。壓縮腔無需潤滑油或工作液。冷卻方式既可以采用直接水冷,也可以采用空氣冷熱交換器實(shí)現(xiàn)散熱器冷卻。由于可選技術(shù)方案和附件范圍廣泛,VDP系列螺桿真空泵可地適應(yīng)各種工藝需求。所有產(chǎn)品系列包括七種規(guī)格,額定抽速從每小時(shí) 200立方米至 3000 立方米。

結(jié)構(gòu)優(yōu)勢(shì)

  變螺距螺桿真空泵以其抽速范圍寬、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、壽命長、能耗低、無水無油污染等優(yōu)點(diǎn),得到越來越多使用單位的青睞。變螺距螺桿真空泵能夠真正做到即保證清潔的被抽空間,又不污染周圍環(huán)境,號(hào)稱21世紀(jì)綠色真空泵。

  既可用于半導(dǎo)體行業(yè),又可用于石化行業(yè)??蓮V泛應(yīng)用于電子、核能、化工、醫(yī)藥、食品工業(yè)等領(lǐng)域。在半導(dǎo)體工業(yè)中用于生產(chǎn)晶片、制造液晶顯示器、蝕刻、CVD制程;在核工業(yè)中用于核反應(yīng)堆及核工業(yè)真空獲得;化工上用于真空蒸餾及溶劑萃取高效回收溶劑,在脂肪酸生產(chǎn)中用來消除水污染,清除噴射器中的阻塞物;醫(yī)藥工業(yè)中用于回收藥液及藥物中間體,為人造器官生產(chǎn)提供清潔無菌條件,回收氣體消毒劑;食品工業(yè)中用于香料、香精濃縮,食品包裝等。應(yīng)用范圍極為廣泛,產(chǎn)品市場(chǎng)前景看好。

  以變螺距螺桿真空泵為基礎(chǔ)的羅茨—螺桿真空機(jī)組,可以代替?zhèn)鹘y(tǒng)的羅茨—水環(huán)真空系統(tǒng),在醫(yī)藥、化工、食品行業(yè)廣泛應(yīng)用,具有占用空間小、能耗低、壽命長、可靠性好、無水蒸氣影響等優(yōu)點(diǎn),適合于各種氣體的排除和輸送。

優(yōu)點(diǎn)及特征

  ●的真空處理能力:100-3000m3/Hr。

  ●不使用油和水,不會(huì)造成油和水的污染。

  ●低功耗、低噪音、低振動(dòng),動(dòng)平衡好,沒有慣性力,可高速運(yùn)行。

  ●設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,易保養(yǎng),維修費(fèi)用低,沒有易損件,壽命長。

  ●適用范圍廣,具有高真空性能。

  ●使用壽命長,氣體接觸部位都具耐蝕耐涂層。

  ●可選用機(jī)械密封或唇形密封,密封可靠不會(huì)因污染而頻繁發(fā)生故障,軸承經(jīng)久耐用。

  ●涂層標(biāo)準(zhǔn):耐蝕耐熱哈氏合金、特氟龍、鎳基碳化鎢

  ■標(biāo)準(zhǔn)配件:

  基座和防護(hù)罩

  排氣消聲器及進(jìn)氣分離器

  過濾器

  流量開關(guān)

  止回閥

  真空計(jì)

  ■可選配件:

  回收罐

  排氣冷凝器

  入口真空緩沖罐

  溫度開關(guān)

應(yīng)用范圍

  ●變螺距螺桿泵在半導(dǎo)體合成及液晶生產(chǎn)上的應(yīng)用,主要有半導(dǎo)體等離子增強(qiáng)氣相沉淀(PECVD)和反映離子刻蝕(RIE)工藝,液晶生產(chǎn)蝕刻制程和生產(chǎn)TFT熒幕電漿(PLASMA)的CVD制程中。此工藝要求返流為0,以保護(hù)工件免受污染。

  ●變螺距螺桿泵在石油化工中的應(yīng)用,主要是抽取可凝性氣體,或有毒氣體,或腐蝕性氣體,或含有微塵的氣體。

  ●制藥行業(yè),用于藥物的真空干燥,藥物中間體回收,回收氣體消毒劑,為人造器官提供清潔無菌條件等。

  ●化工中用于真空蒸餾及溶劑萃取回收,例如萃取回收丙酮,多元醇等工藝

  ●工業(yè)排氣;集中式真空處理系統(tǒng)

  ●擠出機(jī)的混合工藝及板材的排氣工藝

  ●混合樹脂脫腥工藝;在脂肪酸生產(chǎn)中用于消除水污染,及噴射器中的阻塞物。

  ●涉及無油無水真空處理的所有應(yīng)用

  ●食品行業(yè)用于香料,香精濃縮等。

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)

抽氣量

極限壓力

電機(jī)功率

轉(zhuǎn)速

進(jìn)氣

排氣

冷卻水量

噪聲

重量

M³/h

Pa

KW

rpm

mm

mm

L/min

dB

Kg

VDP-200

165

1.33

5.5

2900

50

40

10

75

250

VDP-320

260

1.33

5.5

2900

50

40

10

75

320

VDP-430

360

1.33

7.5

2900

65

50

15

78

380

VDP-650

550

1.33

11

2930

80

65

15

78

480

VDP-900

750

1.33

15

2930

100

80

20

80

600

VDP-1500

1250

1.33

30

2950

125

100

30

82

980

VDP-3000

2500

1.33

55

2950

200

125

40

82

1350

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