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行業(yè)產(chǎn)品

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470水中臭氧分析儀

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更新時(shí)間：2024-01-28 10:23:26瀏覽次數(shù)：346次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

470是的溶解臭氧測(cè)量模塊，為半導(dǎo) 體濕法處理和許多其他工業(yè)過程設(shè)計(jì)。它能 夠提供去離子水或硫酸中濃度高達(dá)150mg/L 的溶解臭氧測(cè)量。470已完成預(yù)備清潔， 能夠滿足高純度半...

詳細(xì)介紹

470是的溶解臭氧測(cè)量模塊，為半導(dǎo) 體濕法處理和許多其他工業(yè)過程設(shè)計(jì)。它能 夠提供去離子水或硫酸中濃度高達(dá)150mg/L 的溶解臭氧測(cè)量。470已完成“預(yù)備清潔”， 能夠滿足高純度半導(dǎo)體過程的需求，并且可 簡(jiǎn)單的直接拼接進(jìn)任何濕法處理的環(huán)流回路 中，支持150 SLPM的流量。 470型傳感器使用雙路取樣傳感技術(shù)，達(dá)到 了的性能，且擺脫了對(duì)參比液體測(cè) 量的需求。 通常的安裝僅僅包括470傳感器和特氟龍7包 裹的內(nèi)部連接電纜。470傳感器能夠通過模 擬或數(shù)字信號(hào)向濕法處理過程控制臺(tái)遠(yuǎn)程報(bào) 告測(cè)量的濃度。

技術(shù)指標(biāo)
  • 測(cè)量原理 ：紫外吸收法，雙路取樣傳感技術(shù)
  • 紫外光源 ：低壓汞燈
  • 測(cè)量單位 ：ppmw, mg/L
  • 量程 ：高達(dá)150 mg/L (150 ppmw)
  • 精度 ：0.5mg/L 或 1%讀數(shù) (以較大值為
  • 準(zhǔn)）
  • 水流量 ：高達(dá)150 SLPM
  • 采樣端口 ：1”, 3/4”, 3/8” Flaretek 連接
  • 壓強(qiáng) ：55 PSI
  • 接觸材料 ：特氟龍, 藍(lán)寶石, 與半導(dǎo)體流程相容
  • 外殼 ：聚四氟乙烯特氟隆
  • 尺寸 ：5.69” 寬 x 6.8” 高 x 3.2” 長(zhǎng) - 垂直固定 (144 x 171 x 82 mm)
  • 維護(hù) ：紫外燈每24個(gè)月替換一次 無(wú)其他預(yù)定維護(hù)
  • 電纜 ：特氟龍外層
  • 電源 ：+15 VDC
  • 認(rèn)證 ：CE 認(rèn)證
  • 模擬輸出 ：4到20mA或0到5VDC，出廠時(shí)選擇
  • 數(shù)字 I/O ：RS-232 或 RS485，出廠時(shí)選擇
  • 遠(yuǎn)程校零 ：通過DB15進(jìn)行遠(yuǎn)程零點(diǎn)校準(zhǔn)

產(chǎn)品特點(diǎn)
  • 現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)
  • 在線且全流量監(jiān)測(cè)
  • 直線通過的流型
  • 無(wú)移動(dòng)部件
  • 無(wú)消耗品
  • 測(cè)量范圍達(dá)150 mg/L
  • 遠(yuǎn)程零點(diǎn)校準(zhǔn)
  • 高精度紫外吸收法
  • 雙光道采樣感應(yīng)技術(shù)
  • 不需求日常維護(hù)
  • 半導(dǎo)體級(jí)別濕式材料
  • 緊湊的特氟龍外殼
  • 特氟龍7包裹的內(nèi)部連接電纜
應(yīng)用
  • 液態(tài)溶解臭氧
  • 半導(dǎo)體濕法清洗系統(tǒng)
  • 超純水系統(tǒng)
  • 制藥業(yè)
  • 水處理
  • 其他工業(yè)過程

關(guān)鍵詞：傳感器
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