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gFFOZ臭氧傳感器

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更新時(shí)間:2023-01-29 10:25:50瀏覽次數(shù):454次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

IN USA 品牌的Gffoz 是一臺(tái)結(jié)構(gòu)緊湊,設(shè)計(jì)用來(lái)測(cè)量過(guò)程臭氧氣體的傳感器,它可以持續(xù)測(cè)量濃度高達(dá)900g/Nm3的臭氧氣體。Gffoz是一臺(tái)潔凈的傳感器,可以用于半導(dǎo)體制程,并且可以在線(xiàn)安...

詳細(xì)介紹

IN USA 品牌的Gffoz是一臺(tái)結(jié)構(gòu)緊湊,設(shè)計(jì)用來(lái)測(cè)量過(guò)程臭氧氣體的傳感器,它可以持續(xù)測(cè)量濃度高達(dá)900g/Nm3的臭氧氣體。Gffoz是一臺(tái)“潔凈”的傳感器,可以用于半導(dǎo)體制程,并且可以在線(xiàn)安裝,允許流量高達(dá)15slpm。
Gffoz采用IN USA公司的創(chuàng)新型的雙光路測(cè)量技術(shù)(獲得),從而具有的性能。
Gffoz典型安裝包含了一臺(tái)控制器(Mini-SCI或SCI-Turbo),通過(guò)信號(hào)線(xiàn)進(jìn)行連接??刂破魈峁┝穗娫?,基于微機(jī)的控制,LCD顯示等。特點(diǎn)包含:0-10VDC和4-20Ma模擬輸出,RS232數(shù)字通訊,遠(yuǎn)程自動(dòng)零點(diǎn)和自動(dòng)溫度壓力補(bǔ)償。

產(chǎn)品特點(diǎn):
◆ 紫外吸收技術(shù)
◆ 雙光速測(cè)量原理
◆ 無(wú)活動(dòng)配件—最小維護(hù)
◆ 壓力和溫度補(bǔ)償
◆ 在線(xiàn)監(jiān)測(cè)
◆ 全流量
◆ 半導(dǎo)體級(jí)別焊接
◆ 控制器最多可以接四個(gè)傳感器

技術(shù)指標(biāo):
傳感器:

◆ 制造商: IN USA INC
◆ 測(cè)量原理 :紫外吸收技術(shù),雙光路傳感器
◆ 壓力&溫度 :自動(dòng)補(bǔ)償
◆ 紫外線(xiàn)光源:低壓汞燈
◆ 測(cè)量單位 :g/m3,g/Nm3,%w/w
◆ 量程 : 0-26%w/w(0-900g/m3)@35psi或2.4atm
◆ 重復(fù)性 :1g/m3或讀數(shù)1%,取大者
◆ 樣品流量 :0.2-15SLPM
◆ 樣品壓力 :10-80psi
◆ 壓損 :5mBar@10slpm
◆ 焊接材料 :316L VAR電拋光不銹鋼,藍(lán)寶石,符合半導(dǎo)體制程要求
◆ 接口: 1/4 inch VCR(其他也可選擇)
◆ 尺寸:130x146x54mm

關(guān)鍵詞:傳感器
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