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NRL60A愛(ài)發(fā)科干式真空泵

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產(chǎn)品型號(hào)NRL60A

品       牌

廠商性質(zhì)其他

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更新時(shí)間：2023-03-22 07:45:22瀏覽次數(shù)：313次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

NRL60A愛(ài)發(fā)科干式真空泵特長(zhǎng)NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化

詳細(xì)介紹

NRL60A愛(ài)發(fā)科干式真空泵


特長(zhǎng)

NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化。除PVD工藝外，尤其適用于希望提高流量，縮短排氣時(shí)間的重要工藝腔體的排氣。

低噪音、低振動(dòng)

優(yōu)良的耐腐蝕性

標(biāo)準(zhǔn)零部件采用高硬度并經(jīng)過(guò)優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理，降低對(duì)腐蝕性氣體排氣時(shí)泵體內(nèi)部的腐蝕程度。

選購(gòu)件

可選購(gòu)消音器、冷卻水流量開(kāi)關(guān)、氮?dú)饬髁块_(kāi)關(guān)、泵溫傳感器。


用途

?   活性氣體（CVD、刻蝕等）。

?   排出非活性氣體（濺射鍍膜、   蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等）。

?   用于產(chǎn)生粉塵工藝中的排氣（Si單晶爐等）

?   作為前級(jí)泵使用（渦輪式分子泵、機(jī)械羅茨泵的前級(jí)泵）。

?   冷凍干燥等水蒸氣排氣。


技術(shù)參數(shù)

NRL60A愛(ài)發(fā)科干式真空泵 技術(shù)參數(shù)


* 1   極限壓力是氮?dú)猓芊鈿怏w）在5.0 SLM時(shí)的值。
* 2   無(wú)結(jié)露。
* 3   用調(diào)節(jié)閥所調(diào)整的壓力表的值。
* 4   氮?dú)猓芊鈿怏w）流量5.0 SLM是固定值。



外形尺寸圖

NRL60A愛(ài)發(fā)科干式真空泵 尺寸圖


抽速曲線圖

NRL60A愛(ài)發(fā)科干式真空泵 抽速曲線圖

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