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MKS G系列GV50A數(shù)字控制質(zhì)量流量控制器

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更新時間:2023-10-19 12:25:06瀏覽次數(shù):238次

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產(chǎn)品簡介

帶有截止閥的多氣體,多量程,彈性密封的50slm質(zhì)量流量控制器G系列GV50A數(shù)字控制質(zhì)量流量控制器可提供RS485,Profibus™,EtherCAT®,PROFINET或DeviceNet™I/O

詳細(xì)介紹

帶有截止閥的多氣體,多量程,彈性密封的50 slm質(zhì)量流量控制器

G系列GV50A數(shù)字控制質(zhì)量流量控制器可提供RS485,Profibus™,EtherCAT®,PROFINET或DeviceNet™I / O。數(shù)字控制電子設(shè)備使用的MKS控制算法,可在整個設(shè)備控制范圍內(nèi)對設(shè)定點(diǎn)進(jìn)行快速,可重復(fù)的響應(yīng)。典型的響應(yīng)時間約為600到800毫秒。數(shù)字校準(zhǔn)可在校準(zhǔn)氣體上產(chǎn)生設(shè)定點(diǎn)精度的1%。

·        流量從5到50,000 sccm

·        截止閥泄漏率小于4x10E-09 atm-cc / sec He

·        多種數(shù)字(ItherCAT,DeviceNet™,Profibus®,PROFINET和RS485)或模擬(0-5 VDC或4-20 mA)I / O

·        少于750毫秒的建立時間

·        Viton,Buna,氯丁橡膠或Kalrez的密封件和閥塞選項(xiàng)

技術(shù)指標(biāo)

控制范圍

滿量程的2%至100%

進(jìn)氣壓力系數(shù)

<讀數(shù)的0.02%/ psi

滿量程流量范圍

5至50,000 sccm

典型建立時間

<750毫秒,通常在滿量程的5%以上

密封材料

Viton,Buna-N,EPDM,Kalrez或氯丁橡膠

熱身時間

30分鐘

流量輸入輸出信號

電壓:(0至5 VDC)15針D型公頭,9針D型公頭,電流:4到20 mA 15針D型公頭

工作溫度

10°至50°C

入口壓力

150磅/平方英寸

儲存濕度

0至95%相對濕度,無凝結(jié)

正常工作壓力差

10至5000 sccm; 10至40 psid,10000至20000 sccm; 15至40 psid,30000至50000 sccm; 25至40 psid

貯存溫度

-20°至80°C

耐壓

1000磅/平方英寸

外部泄漏完整性

<1 x 10-09(scc / sec He)

爆破壓力

1500磅/平方英寸

封閉閥的泄漏完整性

在大氣壓力40 psig時高達(dá)10K的閥門<滿量程的0.1%,在大氣壓力40 psig時高達(dá)20K-50K閥門<量程的1.0%

典型精度

20%至100%滿量程的±1%設(shè)定點(diǎn),2%至20%滿量程的±0.2%滿刻度

濕材料

316L SS VAR,316 SS,Elgiloy®,KM-45

重復(fù)性

讀數(shù)的±0.3%

表面處理

平均Ra 16µ英寸

解析度

滿量程的0.1%

重量

3磅(1.4公斤)

零溫度系數(shù)

<滿量程的0.05%/°C

合規(guī)

CE認(rèn)證

跨度溫度系數(shù)

<讀數(shù)的0.08%/°C



特征

多種數(shù)字和模擬接口選擇

GV50A數(shù)控MFC可提供模擬或數(shù)字I / O。數(shù)字控制電子器件采用的MKS控制算法,可在整個設(shè)備控制范圍內(nèi)對設(shè)定點(diǎn)提供快速,可重復(fù)的響應(yīng)。典型的響應(yīng)時間約為500毫秒。GV50A的模擬量和數(shù)字量I / O可以輕松用來替代2179A MFC的相同I / O類型。所有GV50A均包含Modbus作為可用的輔助I / O(不包括PROFINET®和EtherCAT®)。

標(biāo)準(zhǔn)3英寸占地面積

GV50A利用MFC使用的標(biāo)準(zhǔn)3英寸占地面積,流量范圍為5 sccm至50 slm,從而使其能夠使用而無需修改現(xiàn)有的氣體管線配置。

所有金屬潤濕的表面

GV50A的設(shè)計采用了最少的彈性體。只有一個外部彈性體密封件和彈性體閥芯。否則,所有濕潤的表面都是金屬。GV50A標(biāo)配Viton®密封件,以及Buna,Neoprene®,EPMD或Kalrez®的選件,允許該設(shè)備與需要這些替代品之一的氣體一起使用。

設(shè)定值精度的百分比

附帶的數(shù)字校準(zhǔn)可在全量程流量范圍的20%至100%的情況下使用N2校準(zhǔn)氣體提供1%的設(shè)定點(diǎn)精度。設(shè)定點(diǎn)精度可實(shí)現(xiàn)精確的過程控制,相對于相對于滿量程的精度。當(dāng)質(zhì)量流量為滿刻度的2至20%時,精度為滿刻度的±0.2%。

嵌入式用戶界面

嵌入式用戶界面提供了輕松更改設(shè)備范圍和用戶氣體的能力,從而減少了庫存需求。您還可以監(jiān)視MFC功能并就地收集性能數(shù)據(jù)。

溫度傳感器

經(jīng)過驗(yàn)證的熱傳感器設(shè)計可提供出色的零穩(wěn)定性。美國號5461913。

一體式截止閥

GV50A包含一個常閉的隔膜型正截止閥。該截止閥可關(guān)閉4x10 9 scc / sec的氦氣。


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