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德國(guó)MBE 分子束外延系統(tǒng)OCTOPLUS 500

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產(chǎn)品型號(hào)OCTOPLUS 500

品       牌

廠商性質(zhì)其他

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更新時(shí)間:2023-06-16 19:10:12瀏覽次數(shù):177次

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德國(guó)MBE分子束外延系統(tǒng)OCTOPLUS500OCTOPLUS500MBE系統(tǒng)的主要特點(diǎn)是的可靠性和普適性

詳細(xì)介紹

德國(guó)MBE 分子束外延系統(tǒng)OCTOPLUS 500



OCTOPLUS 500 MBE系統(tǒng)的主要特點(diǎn)是的可靠性和普適性。標(biāo)準(zhǔn)的Octoplus 500有11個(gè)呈放射狀分布的源孔,可以根據(jù)需要增選3個(gè)源孔??焖俪檎婵者M(jìn)樣室配有水平磁力桿傳輸系統(tǒng),可以在不破壞MBE腔室真空的前提下,簡(jiǎn)便地進(jìn)行樣品傳輸。



OCTOPLUS 500 MBE系統(tǒng)的的主要參數(shù)規(guī)格

● ID 550 mm

● 應(yīng)用于III/V族, II/VI族或其他異質(zhì)結(jié)構(gòu)材料

● 6英寸晶片,或7x2英寸晶片

● 進(jìn)樣室和緩沖腔室

● 線性樣品傳輸系統(tǒng)

● 標(biāo)準(zhǔn)法蘭孔數(shù)目(標(biāo)準(zhǔn)11個(gè),可按要求增加3個(gè))

● 束流源,氣體源,樣品臺(tái)

● 抽真空系統(tǒng)(離子吸附泵,分子泵,低溫泵等)

● 原位表征能力

● 軟件/硬件控制系統(tǒng)

● 額外要求可定制



關(guān)鍵詞:低溫泵

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