美國ALICAT LKD13系列質(zhì)量流量控制器-低壓降 Alicat的LD12/LKD13數(shù)字式質(zhì)量流量計10 ms)與控制(100ms)速度則更快。標準精度0.8%RD+0.2%FS、高精度0.4%RD+0.2%FS有效范圍0.5-99%內(nèi)置90-130條氣體曲線可選響應速度100MS多種數(shù)字信號可選

詳細介紹

性能參數(shù)

性能/參數(shù)	LKD13系列質(zhì)量流量控制器
流量范圍	0.5SCCM-1000SLPM 可自行修改流量單位如kg/h、g/min等
標定氣體	內(nèi)置90條氣體可選擇
精度(調(diào)零后)	±(0.8%Rd+0.2%FS)
高精度(調(diào)零后)	±(0.4%Rd+0.2%FS),限于5SCCM-500SLPM
重復性	±0.2%FS
漂移(零點/滿量程)	0.02% F.S/oC/Atm
工作范圍	0.5-99%
響應時間	100毫秒(調(diào)整)
啟動預熱時間	1秒內(nèi)
標準工況	25oC & 14.696 psia，可自定義修改
工作溫度范圍	-10~-50℃(另有高溫訂制品)
工作濕度范圍	0-99%RH(非冷凝)
工作壓力	3Bar
安裝方向	任意
閥門狀態(tài)	常閉
材質(zhì)	SUS302\303\304不銹鋼、密封圈VITON
顯示屏	背光LCD顯示屏，同時顯示流量、壓力、溫度
數(shù)字信號	標準RS232 選配:RS485、MODBUS-RTU、PROFIBUS、DeviceNet 以太網(wǎng)RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/Modbus TCP-IP)
模擬信號	標準0-5V/1-5V/0-10V 選配:4-20mA
第二路模擬信號	標準0-5V/1-5V/0-10V 選配:4-20mA
電氣接口	標準圓形8芯選配:圓形6芯、DB9、DB15
供電電壓	+24VDC
消耗電流	2SLPM以內(nèi)：250mA 5SLPM以上：750mA 注：1000SLPM消耗2000mA電流

性能升級(LKD13系列小流量)
流量范圍	10SCCM-100SLPM
精度	±0.75%Rd或±0.1%FS 取大值
高精度	±0.6%Rd或±0.1%FS 取大值
重復性	±(0.2%Rd+0.02%FS)
量程比	200:1(0.5-99%)
其他

電氣連接

針腳/顏色	定義
1針(黑色)	4-20MA輸出信號，如選擇0-5V/10V 連接6針
2針(棕色)	不用連接,如選第二路輸出信號可接
3針(紅色)	RS232 輸入串口RS232 輸入串口
4針(橘色)	模擬設定信號(訂貨時確認信號類型)
5針(黃色)	RS232 輸出串口
6針(綠色)	0-5V或0-10V輸出信號
7針(藍色)	+24VDC供電
8針(紫色)	接地(同時作用于電源、通訊、模擬)

備注：以上是標配圓新8芯接線注解，其他接口

壓損、管路接口

流量	壓損(PSID),排放大氣中	接口
0.5-2SCCM	0.06	1/8NPT母螺紋
5-10SCCM	0.08
20SCCM	0.07
50-200SCCM	0.07
500SCCM	0.08
1SLPM	0.10
2SLPM	0.18
5SLPM	0.10	1/4NPT母螺紋
10SLPM	0.12
20SLPM	0.26
40SLPM	0.14	1/2NPT母螺紋
50SLPM	0.17	3/4NPT母螺紋
100SLPM	0.30
250SLPM	0.69
500SLPM	0.69
1000SLPM	1.65	2"NPT母螺紋