石墨烯生長(zhǎng)爐（PECVD）產(chǎn)品說(shuō)明：石墨烯生長(zhǎng)爐由YB-GT管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)+水冷系統(tǒng)組成，可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，真空可以達(dá)到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)或浮子流量計(jì)，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合

詳細(xì)介紹

石墨烯生長(zhǎng)爐（PECVD）

產(chǎn)品說(shuō)明：
石墨烯生長(zhǎng)爐由YB-GT管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)+水冷系統(tǒng)組成，可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，真空可以達(dá)到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)或浮子流量計(jì)，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。
KJ-1200T管式爐采用摻鉬合金加熱絲為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和宇電控溫儀表，能進(jìn)行30段程序控溫，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用日本進(jìn)口氧化鋁多晶纖維材料，具有溫場(chǎng)均衡、表面溫度低、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)。
軟件控制系統(tǒng)：該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過(guò)電腦控制爐子的各個(gè)參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況，爐子的實(shí)際升溫曲線(xiàn)電腦會(huì)實(shí)時(shí)繪出，并能把每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來(lái)，隨時(shí)可以調(diào)出。

一：基本參數(shù)：
1: 加熱爐部分

2 :爐膛模式開(kāi)啟式爐膛

3 :顯示模式觸摸屏

4: 極限溫度 1400℃

5 :工作溫度 ≤1350℃

6: 升溫速率建議10℃/Min Max：30℃/Min

7 :預(yù)熱溫區(qū)長(zhǎng)度 150mm

8 :主溫區(qū)長(zhǎng)度 300mm

9 :預(yù)熱溫區(qū)移動(dòng) 手動(dòng)移動(dòng)

10: 主溫區(qū)移動(dòng) 自動(dòng)移動(dòng)，速度可以設(shè)定

二：設(shè)備特點(diǎn)：

1: 設(shè)備規(guī)格 2000*85*1400mm（長(zhǎng)*寬*高）

2: 爐管長(zhǎng)度 2000mm

3: 控溫精度 ±1℃

4: 密封方式快速法蘭密封

5 :溫度曲線(xiàn) 30段"時(shí)間—溫度曲線(xiàn)"任意可設(shè)

6:預(yù)存曲線(xiàn) 可預(yù)存15條溫度曲線(xiàn)

7: 超溫報(bào)警有

8:過(guò)流保護(hù) 有

9: 斷偶提示有

10: 測(cè)溫元件 s型熱電偶

11: 爐膛材料氧化鋁纖維

12：射頻電源功率

13：信號(hào)頻率 13.56 MHz±0.005%

14：功率輸出范圍 5W-500W

15：功率穩(wěn)定度 ±0.1%

16：諧波分量 ≤-50dbc

17 ：供電電壓單相交流（187V-253V）頻率50/60HZ

18：整機(jī)效率 >=70%

19：功率因素 >=90%

20 ：冷卻方式強(qiáng)制風(fēng)冷

真空部分

1：工作電電壓 220V±10% 50~60HZ

2：功率 500瓦

3：抽氣速率 4L/s

4：進(jìn)氣口口徑 KF25

5：排氣口口徑 KF25

6：轉(zhuǎn)速 1450rpm

7：噪音 55dB

9：極限真空 4X10-2Pa

氣路系統(tǒng)

1,2,3,4氣路采用DB07系列

準(zhǔn)確度：±1.5%

重復(fù)精度：±0.2%

響應(yīng)時(shí)間：氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec

工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa

整機(jī)系統(tǒng)特色

正壓測(cè)量 -100Kpa---100Kpa

真空測(cè)量 -100Kpa

超壓保護(hù) 超壓保護(hù)值可以設(shè)定

壓力恒定恒定壓力值可以設(shè)定

智能氣路氣路系統(tǒng)可以編程

氣路定時(shí) 通氣時(shí)間可以設(shè)定

射頻工作時(shí)間設(shè)定輝光放電時(shí)間可以設(shè)定，自動(dòng)關(guān)機(jī)

移動(dòng)速度調(diào)節(jié) 移動(dòng)速度可以設(shè)定

系統(tǒng)真空度 5Pa

關(guān)鍵詞：生長(zhǎng)爐水冷系統(tǒng) 流量計(jì) 浮子流量計(jì) 熱電偶

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