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DF-200系列是一款高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器，可在1秒（全范圍）內(nèi)實(shí)現(xiàn)±1％SP的精度和響應(yīng)。
此外，它兼容多氣體和多量程，可輕松更換包括參考?xì)怏w在內(nèi)的7種氣體及其流量范圍，使其成為具有出色通用性的產(chǎn)品。
- 高精度（±1％SP），高速響應(yīng)（1秒內(nèi)所有區(qū)域）
- 支持多量程和多種氣體
- 標(biāo)準(zhǔn)配備通訊功能（RS485）
- RoHS。符合CE標(biāo)準(zhǔn)
DF-200C標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | ||
|---|---|---|---|
| 閥門方式 | 比例電磁閥（未通電時(shí)關(guān)閉） | ||
| 目標(biāo)氣體（* 1） | 多氣體： N2（空氣，H2，He，Ar，O2，CO2）（* 2） | ||
| 流量范圍（* 3） | 10/30/50/100/300/500 SCCM，1/3/5/10 SLM（* 2） | ||
| 控制范圍 | 2至100％（F.S.） | ||
| 反應(yīng)能力（* 4） | 總流量控制范圍在1秒內(nèi)（±2％F.S.） | ||
| L：50kPa~149kPa H:150kPa~300kPa | |||
| 精度（* 5） | ±1.0％SP（> 35％F。S.）， ±0.35％F。S.（≦35％F。S.） | ||
| 再現(xiàn)性 | ±0.25％FS | ||
| 工作壓差（* 6） | 50至300 kPa（Ar，CO2：100.300 kPa） | ||
| 入口壓力 | 500kPa（G） | ||
| 耐壓 | 980kPa（G） | ||
| He泄漏率（* 7） | 1 x 10-8 Pa.m3 / sec以下 | ||
| 溫度 | 允許周圍溫度 | 5～50℃ | |
| 精度保證溫度 | 15～35℃ | ||
| 允許儲存溫度 | -10～60℃ | ||
| 允許環(huán)境濕度 | 10～90%RH （無結(jié)露） | ||
| 氣體接觸材料 | SUS316，SUS316L，磁性不銹鋼，Ni，PTFE，PCTFE，F(xiàn)KM | ||
| 電氣連接 | D-sub 9針KFC標(biāo)準(zhǔn)（符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)），RJ-45模塊化插孔x 2 | ||
| 流量設(shè)定信號 | 0至5 VDC（輸入阻抗約1MΩ） | ||
| 流量輸出信號 | 0至5 VDC（負(fù)載電阻10kΩ或更高） | ||
| 數(shù)字通信 | 使用RS485旋轉(zhuǎn)開關(guān)設(shè)置地址：最多99（9600 bps） | ||
| 所需電源（DC） | +15 VDC（±5％）：150 mA，-15 VDC（±5％）：150 mA | ||
| 接頭（* 8） | 1 / 4F 900（標(biāo)準(zhǔn)），1/4 UJR，Rc1 / 4 | ||
| 安裝姿勢 | 推薦水平方向 | ||
| 重量（* 9） | 約850g | ||
（* 1）應(yīng)為干燥氣體，清潔氣體，無腐蝕性成分，灰塵，霧氣等。
（* 2）使用專用軟件，可以更改氣體類型或?qū)M量程范圍更改為滿量程（FS）的30％至100％（CO2的30％至80％） 。
（* 3）流量校準(zhǔn)單元SCCM和SLM是在0°C和1個(gè)大氣壓下轉(zhuǎn)換為體積流量cc / min和L / min的值。
（* 4）校準(zhǔn)氣體：保證N2。
（* 5）校準(zhǔn)氣體：N2，流量范圍精度（滿量程）。
（* 6）工作壓差可能因規(guī)格而異。
（* 7）不含滲透。
長期滲透引起的泄漏量（參考值）為1×10.6Pa?m3 / sec以下。
（* 8）如需其他接頭，請另行詢問。
（* 9）沒有配件的重量。
尺寸圖
接線連接
