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天津市比利科技發(fā)展有限公司
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更新時間：2023-04-15 18:21:30瀏覽次數(shù)：298次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線堀場匯博隆質量流量控制器產品概述本產品為熱式質量流量控制器，利用氣流流過毛細管，改變毛細管溫度分布，造成上下游溫差方法，而測得氣體質量流量
堀場匯博隆質量流量控制器
產品概述
本產品為熱式質量流量控制器，利用氣流流過毛細管，改變毛細管溫度分布，造成上下游溫差方法，而測得氣體質量流量。不同于容積式流量計，其流量精度不受氣體壓力、環(huán)境溫度影響。由于上下游溫差總是實時反應氣流瞬時流量，所以特別適用于過程控制中的氣體流量的精密測量和控制。
產品特點
1、可以任意角度安裝
2、良好的線性——多段線性補償
3、快速的響應
4、電磁閥使用壽命≥100萬次
5、對零點漂移有效的抑制
6、化的零配件供應 ——傳感器、分流器、精密元器件日本進口
7、良好的選擇性
應用領域
質量流量控制器廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等行業(yè)的氣流測量與控制，適用于各種氣體，精度高，零漂小，無需矯正可任意角度安裝。
基本參數(shù)
編號 | 項目 | S48 28/HMT | |
1 | 流量規(guī)格 | (100,150,200)L/min | |
2 | 調節(jié)閥類型 | 電磁調節(jié)閥 | |
3 | 調節(jié)閥靜止狀態(tài) | 常閉 | |
4 | 安裝角度 | 任意 | |
5 | 流量控制范圍 | 5%～99% | |
6 | 流量測量范圍 | 0～99% | |
7 | 響應時間 | 2s（T98，設定值的±2% F.S.） | |
8 | 工作環(huán)境溫度 | 5℃～50℃ | |
9 | 精度保證溫度 | 15℃～35℃ | |
10 | 精度 | ±1.0%F.S. | |
11 | 線性精度 | ±0.5%F.S. | |
12 | 重復性 | ±0.2%F.S. | |
13 | 工作壓差 | （100/150/200)L/min:(100/150/200)～300kPa | |
14 | 耐壓 | 3MPa | |
15 | 泄漏率 | 1×10-8 Pa•m3/s （He） | |
16 | 接觸氣體材料 | 316L,PTFE,Viton氟橡膠 | |
17 | 管路接頭 | Swagelok:3/8″ Φ10 VCR:1/2″ VCR:1/4″3/8″ | |
18 | 供電電源 | ±15VDC(±5%) | +24VDC(寬電壓+11～+25V), |
19 | 設定信號 | (0～5)VDC 輸入阻抗＞1MΩ | 4～20mA；（可定制：1～5V或0～5V） |
20 | 流量輸出信號 | (0～5)VDC 負載能力≤3mA |
|
21 | 電氣接頭 | D-SUB15,D-SUB9 | |
22 | 重量(kg) | 2.8 | |
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