當(dāng)前位置：青島佳鼎分析儀器有限公司>>刻蝕系統(tǒng)>>LAM RESEARCH二手刻蝕機(jī)9600

LAM RESEARCH二手刻蝕機(jī)9600

返回列表頁

參考價(jià)

面議

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地

在線詢價(jià) 收藏產(chǎn)品查看聯(lián)系電話

聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2023-06-03 19:40:34瀏覽次數(shù)：1172次

聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自環(huán)保在線

產(chǎn)品分類 品牌分類

  刻蝕系統(tǒng)

全部產(chǎn)品列表

暫無信息

青島佳鼎分析儀器有限公司

經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：27條

所在地區(qū)：

詢價(jià) 給他留言

產(chǎn)品簡介

Lam9600旨在蝕刻具有高度垂直側(cè)壁的鋁金屬和TiW層，適用于0.35um線寬

詳細(xì)介紹

Lam 9600 旨在蝕刻具有高度垂直側(cè)壁的鋁金屬和 TiW 層，適用于 0.35 um 線寬。等離子體是一種中高密度、變壓器耦合等離子體，類似于 ICP 源，允許單獨(dú)控制線圈（頂部電極）功率和壓板（下部電極）功率。在腔室中，晶圓被機(jī)械夾持到水冷壓板上，He 背面氣體提供耦合。Cl2/BCl3 化學(xué)成分用于 Al 和 SF6 用于 TiW 層。TiW 蝕刻和 Cl 鈍化步驟（也使用 SF6）可以在出口鎖或主腔室中進(jìn)行。預(yù)計(jì) Cl 化學(xué)對(duì) Al2O3 層以及具有最小底切的硅溝槽有效。

LAM RESEARCH二手刻蝕機(jī)9600