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北京壯仕科技有限公司
參 考 價 | 面議 |
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更新時間:2022-10-11 12:55:19瀏覽次數(shù):230次
聯(lián)系我時,請告知來自 環(huán)保在線特點特別為SEM樣品鍍導電性薄膜設計體積小巧,操作簡單,容易上手
特點 | 特別為SEM樣品鍍導電性薄膜設計
體積小巧,操作簡單,容易上手。
擁有小型磁控靶頭,可以鍍金銀鉑等金屬。 | |||||||||||||||
主要參數(shù) | 輸入電源:220V AC 50/60Hz
功率:200W
輸出電壓:500 VDC
濺射電流:0-50 mA可調
濺射時間:0-120S可調 | |||||||||||||||
濺射腔體 | 采用石英腔體,尺寸:166 mm OD x 150 mm ID x 150 mm H
密封:采用不銹鋼平法蘭的O形密封圈 | |||||||||||||||
濺射頭&樣品臺 | 濺射頭可安裝靶材直徑為2英寸,厚度0.1 - 2.5mm
濺射時間1-120S可調
儀器中安裝有直徑為50mm的不銹鋼樣品臺,其與濺射頭之間距離可調。
可選購加熱型樣品臺,其加熱溫度為500℃
安裝有一可手動操作的濺射擋板,可進行預濺射。
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真空系統(tǒng) | 安裝有KF25真空接口
數(shù)字真空壓力表(Pa)
此系統(tǒng)可通入氣體運行
< 1.0e-2="" torr="">
< 1.0e-5="">
可在本公司選購各種真空泵 | |||||||||||||||
進氣 | 設備上配1/4英寸進氣口,方便連接氣瓶
設備前面板上裝有一氣流調節(jié)旋鈕,方便調節(jié)氣流 | |||||||||||||||
靶材 | 靶材尺寸要求:Φ50mm×(0.1 - 2.5) mm(厚度)
此設備標配為銅靶
可在本公司選購各種靶材 | |||||||||||||||
薄膜測厚儀(可選) | 可在本公司選購薄膜測厚儀安裝在濺射儀上 | |||||||||||||||
產品外型尺寸 | L460 mm × W 330 mm × H 540 mm 凈重:20 kg(不包括泵) | |||||||||||||||
質量認證 | CE認證 | |||||||||||||||
質保 | 一年保修,終身技術支持。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 | |||||||||||||||
各種靶材的參數(shù)(僅供參考) | 對于濺射各種金屬靶材,需要摸索的濺射參數(shù),下表是本公司實驗所設置的參數(shù),歡迎您帶料來科晶實驗室摸索工藝(僅供參考,詳情請點擊)
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使用提示 | l有時為了達到理想的薄膜厚度,可能需要多次濺射鍍膜
l在濺射鍍膜前,確保濺射頭、靶材、基片和樣品臺的潔凈
l要達到薄膜與基底良好結合,請在濺射前清潔基材表面
l超聲波清洗(詳細參數(shù)點擊下面圖片):(1)丙酮超聲,(2)異丙醇超聲-去除油脂,(3)吹氮氣干燥,(4)真空烘箱除去水分。
l等離子清洗(詳細參數(shù)點擊下面圖片):可表面粗糙化,可激活表面化學鍵,可祛除額外的污染物。
l制造一個薄的緩沖層(5納米左右):如Gr,Ti,Mo,Ta,可以應用于改善金屬和合金的附著力。
l請使用>5N純度氬氣等離子體濺射
l濺射鍍膜機可以放入Ar或N2氣體手套箱中濺射
l由于能量低,該模型不適用于涂層的輕金屬材料如Al,Mg,Zn,Ni。請考慮我們的磁控濺射鍍膜機或熱蒸發(fā)鍍膜機。點擊下面圖片查看細節(jié)
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警告 | 注意:產品內部安裝有高壓元件,禁止私自拆裝,帶電移動機體。
氣瓶上應安裝減壓閥(不包括),保證氣體的輸出壓力限制在0.02兆帕
濺射頭連接到高電壓。為了安全,操作者必須在關閉設備前裝樣和更換靶頭。 |
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