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單晶爐用干式螺桿真空泵組

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更新時間:2023-06-27 08:46:14瀏覽次數(shù):377次

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產(chǎn)品簡介

性能優(yōu)勢PerformanceAdvantages無油氣污染工藝設(shè)備,可獲得清潔零件表面

詳細(xì)介紹

 

性能優(yōu)勢 Performance Advantages

 

· 無油氣污染工藝設(shè)備,可獲得清潔零件表面;

· 被抽氣體不會被污染,為期可進(jìn)行回收利用;

· 無油氣、油煙等有害氣體排放,有利于環(huán)境保護(hù);

· 避免因泵腔內(nèi)潤滑油乳化、變質(zhì)而出現(xiàn)的運行故障,提高了系統(tǒng)的穩(wěn)定性;

· 可單獨使用,進(jìn)氣壓力在1Pa至大氣壓下均能正常工作,抽氣效率高,可大幅度簡化真空系統(tǒng);

· 機(jī)組可作為前級泵使用,與羅茨泵、分子泵等組合成多級無油真空機(jī)組,以獲得更大與更高的真空度;

· 轉(zhuǎn)子間無接觸、無磨損,零件損耗小,使用壽命長;

· 泵腔內(nèi)采用間隙密封,對少量粉塵不敏感;

· 智能控制模式,實時監(jiān)測設(shè)備運行狀態(tài),并針對異常情況做出報警;

· 模塊化設(shè)計,整機(jī)體積小,方便移動;

· 可變頻運行,節(jié)能效果好;

· 采用一體化水冷電機(jī)設(shè)計,運行噪音低,震動??;

 

 

 

 

機(jī)組內(nèi)容  Unit Content



 
 

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