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研究型硅片顯微鏡 BMT-600

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更新時間:2022-12-17 15:10:15瀏覽次數(shù):315次

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產(chǎn)品簡介

研究型硅片顯微鏡BMT-600一、用途:BMT-600明暗場硅片檢測顯微鏡是適用于對太陽能電池硅片的顯微觀察

詳細(xì)介紹

研究型硅片顯微鏡 BMT-600
一、用途:
BMT-600明暗場硅片檢測顯微鏡是適用于對太陽能電池硅片的顯微觀察。本儀器配有大移動范圍的載物臺、落射照明器、長工作距離的平場消色差物鏡、大視野目鏡,圖像清晰、襯度好,同時配有偏光裝置,及其高像素的數(shù)碼攝像頭.本儀器配有暗場物鏡,使觀察硅片時圖像更加清晰,是檢測太陽能電池硅片的金字塔的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器. 硅片檢測顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測的位錯、劃痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析.雜質(zhì)包括: 顆粒、有機雜質(zhì)、無機雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等,造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍(lán)、發(fā)黑等現(xiàn)象,使磨片不合格. 是太陽能電池硅片生產(chǎn)過程中*的檢測儀器之一.

二、技術(shù)參數(shù)
1.目鏡

類 別

放大倍數(shù)

視場(mm)

大視野目鏡

10X

φ18

2.物鏡

類 型

放大倍數(shù)

數(shù)值孔徑NA

工作距離(mm

長工作距離平場消色差物鏡

5X(明場

0.12

18.3

10X(明暗場

0.25

8.9

20X(明暗場

0.40

8.7

40X(明暗場

0.60

3.7

80X(明場

0.80

0.96

研究型硅片顯微鏡 BMT-6003.光學(xué)放大倍數(shù):50X -- 800X 系統(tǒng)參考放大倍數(shù):50X-5000X
4.濾色片組:黃色、藍(lán)色、綠色、磨砂玻璃
5.偏光裝置:可插入式起偏振片和三目頭內(nèi)置檢偏振片
6.載物臺:二層機械移動式配有快速移動裝置尺寸:210mmX140mm,移動范圍:75mmX50mm
7.粗微同軸調(diào)焦機構(gòu),微動手輪格值:0.002mm
8.落射照明器:6V/20W鹵素?zé)?,亮度可調(diào)
9.防霉:*的防霉系統(tǒng)
10.成像系統(tǒng):500萬高像素的數(shù)字?jǐn)z像頭或日本JVC攝像器
三、系統(tǒng)組成
硅片檢測顯微鏡(BMT-600E): 電腦型:1、硅片顯微鏡 2、適配鏡 3、攝像器(CCD) 4、A/D(圖像采集) 5、驅(qū)動軟件 6、數(shù)據(jù)線 7、計算機選配
四、總放大參考倍數(shù)
電腦型硅片檢測顯微鏡(BMT-600E)50--5000倍 (17寸顯示器為例)
五、選購件
1.硅片測量軟件 2.目鏡: 20X 10X(帶刻度

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