借助光譜共焦傳感器非接觸式尺寸測(cè)量納米和微米分辨白光傳感器（無(wú)斑點(diǎn)，大測(cè)量范圍）同軸測(cè)量（無(wú)陰影）鏡面上的高局部斜率（反射式）對(duì)環(huán)境光不敏感可測(cè)金屬，玻璃，半導(dǎo)體，陶瓷和其他更多材料透明物體的厚度測(cè)量方式具有大測(cè)量范圍能力（20μm-24mm）

詳細(xì)介紹

法國(guó)STIL三維表面輪廓測(cè)量?jī)x

配置“點(diǎn)”傳感器的MICROMESURE2系統(tǒng)

MICROMESURE2系統(tǒng)，配置CCS-Prima,STIL-DUO傳感器，是非接觸式表面測(cè)量的理想工具，包含3D粗糙度，形狀測(cè)量和3D微觀形貌。

MICROMESURE2系統(tǒng)，重復(fù)利用了STIL非接觸式傳感器在各種應(yīng)用和領(lǐng)域的性能。

與配套的控制器&采集硬件和軟件一起交付，MICROMESURE2系統(tǒng)是一套整機(jī)，啟動(dòng)后立刻執(zhí)行（指令）。

借助光譜共焦傳感器

非接觸式尺寸測(cè)量
納米和微米分辨
白光傳感器（無(wú)斑點(diǎn)，大測(cè)量范圍）
同軸測(cè)量（無(wú)陰影）
鏡面上的高局部斜率（反射式）
對(duì)環(huán)境光不敏感
可測(cè)金屬，玻璃，半導(dǎo)體，陶瓷和其他更多材料
透明物體的厚度測(cè)量方式
具有大測(cè)量范圍能力（20μm-24mm）

借助高質(zhì)量的掃描系統(tǒng)

Z軸0.1μm編碼器（系列產(chǎn)品）
X&YZ軸0.1μm編碼器（可選擇）
低震動(dòng)
正交性和平面度校正
透明的作業(yè)空間，避免氣流震蕩

配置線傳感器的MICROMESURE2系統(tǒng)

2014年產(chǎn)品：配置了MPLS180線傳感器的MICROMESURE2

4個(gè)光學(xué)頭可選：Nano view,Micro View,Deepview,Wire view

專(zhuān)用軟件：Line SensorMap

MICROMESURE2系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)

STIL 3D輪廓測(cè)量?jī)x
型號(hào)		MIME-3M1R-115	MIME-3M3R-115	MIME-3M3R-332
X-Y軸參數(shù)	行程	100mm	100mm	300mm
	編碼器	無(wú)	有	有
	位置精度	10μm/100mm	1μm/100mm	1μm/100mm
	位置分辨率	0.1μm	0.1μm	0.1μm
	平面度	1μm/100mm	1μm/100mm	TBA
	速度	20mm/s	20mm/s	20mm/s
Z軸參數(shù)	行程	50mm	50mm	50mm
	編碼器	無(wú)	有	有
	位置精度	1μm/100mm	1μm/100mm	1μm/100mm
	位置分辨率	0.1μm	0.1μm	0.1μm
	平面度	1μm/100mm	1μm/100mm	1μm/100mm
	速度	5mm/s	5mm/s	5mm/s
外形尺寸（LDH）		640612606（mm）	640612606（mm）	TBA
重量（kg）		120	120	250

MICROMESURE2系統(tǒng)表面圖像處理及采集軟件

表面圖像控制&采集軟件
采集類(lèi)型	輪廓掃描(X,Y,傾斜物)
	表面掃描
	點(diǎn)系列采集
	重復(fù)測(cè)量
	混合采集序列
	視頻圖像（如配置攝像機(jī)）
掃描參數(shù)設(shè)定	體積
掃描參數(shù)設(shè)定	沿每個(gè)軸步進(jìn)
傳感器參數(shù)設(shè)定	高度模式
	厚度模式
	光筆選擇
	平均
	雙倍頻率（如提供)
掃描類(lèi)型	恒定速度（帶有間隙補(bǔ)償）
	恒定速度（前&后）
	逐步
	Z following
數(shù)據(jù)存儲(chǔ)	文件夾選擇
數(shù)據(jù)存儲(chǔ)	格式選擇(binary,csv)
用戶監(jiān)督	測(cè)量進(jìn)程
	XY和Z坐標(biāo)
	傳感器狀態(tài)
自動(dòng)程序	硬件歸位
	自動(dòng)對(duì)焦
	重定位
	檢查