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3軸機(jī)械臂防水3軸圓柱坐標(biāo)型晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂

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更新時(shí)間：2024-06-12 10:18:26瀏覽次數(shù)：100次

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上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司

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產(chǎn)品簡介

防水3軸圓柱坐標(biāo)型機(jī)械晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂特點(diǎn)：防水3軸圓柱坐標(biāo)型機(jī)械手臂SWCR3000系列（配備300mm晶圓翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)+邊緣夾持機(jī)構(gòu)）在保護(hù)等級IP64LSI半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝條件下

詳細(xì)介紹

防水3軸圓柱坐標(biāo)型機(jī)械晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂特點(diǎn)：

防水3軸圓柱坐標(biāo)型機(jī)械手臂SWCR3000系列（配備300mm晶圓翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)+邊緣夾持機(jī)構(gòu)）

在保護(hù)等級IP64 LSI半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝條件下，能夠在酸性，堿性環(huán)境下搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓

手臂部分采用特氟龍鍍層保證耐腐蝕性

手臂關(guān)節(jié)部位防水結(jié)構(gòu)使用V型密封圈

零件之間的結(jié)合面采用Viton材質(zhì)的密封條

Z軸的防水結(jié)構(gòu)可以使用蛇腹管

配備動作監(jiān)視器

控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式

全軸采用2相步進(jìn)電機(jī)

S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓

晶圓固定方式: 真空吸附式，下托式，邊緣夾持式

可以針對搬運(yùn)物體，客戶設(shè)備布局的實(shí)際情況提供的手指

防水3軸圓柱坐標(biāo)型機(jī)械晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂基本參數(shù)：

使用環(huán)境	潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境
手臂	單臂
到達(dá)距離	312mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達(dá)距離)
升降軸行程	200mm / 300mm
可搬運(yùn)質(zhì)量	3kg以下 (手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn))