當(dāng)前位置：上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司>>半導(dǎo)體>>4軸機(jī)械臂小徑晶圓用4軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手臂

4軸機(jī)械臂小徑晶圓用4軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手臂

參考價(jià)

面議

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品牌

廠商性質(zhì)代理商

所在地上海

在線詢價(jià) 收藏產(chǎn)品查看聯(lián)系電話

聯(lián)系方式：陳靜靜查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2024-06-12 10:10:45瀏覽次數(shù)：130次

聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自環(huán)保在線

暫無(wú)信息

上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：代理商

商鋪產(chǎn)品：624條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：陳靜靜（經(jīng)理）

詢價(jià) 給他留言

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

小徑晶圓用4軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手臂特點(diǎn)：適用于超級(jí)潔凈間要求的3軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手臂SCR3100S系列適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部

詳細(xì)介紹

小徑晶圓用4軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手臂特點(diǎn)：

適用于超級(jí)潔凈間要求的3軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手臂SCR3100S系列

適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測(cè)設(shè)備等小尺寸晶圓的搬運(yùn)，通過(guò)優(yōu)化機(jī)械手臂的空間尺寸，

有利于實(shí)現(xiàn)設(shè)備的小型化

提高潔凈度的方法：手臂內(nèi)部排氣口安裝0.1µm級(jí)過(guò)濾器

適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式

配備動(dòng)作監(jiān)視器

控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式

全軸采用2相步進(jìn)電機(jī)

S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓

晶圓固定方式: 真空吸附式，下托式，邊緣夾持式

手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)

可以針對(duì)搬運(yùn)物體，客戶設(shè)備布局的實(shí)際情況提供的手指

小徑晶圓用4軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手臂基本參數(shù)：