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帶3路浮子混氣三溫區(qū)1700℃管式爐--GSL-1700X-III-F3LV

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號GSL-1700X-III-F3LV

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地

更新時間:2022-02-23 12:02:29瀏覽次數(shù):165次

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GSL-1700X-III-F3LV是一款通過CE認證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其爐管直徑為60mm,其真空泵采用雙旋機械泵,混氣系統(tǒng)為3路浮子混氣系統(tǒng)

GSL-1700X-III-F3LV是一款通過CE認證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其爐管直徑為60mm,其真空泵采用雙旋機械泵,混氣系統(tǒng)為3路浮子混氣系統(tǒng)。此高溫爐燒結(jié)溫度可達1700℃,真空度可達到5x10-2 torr ,可以混合1-3種氣體。


技術(shù)參數(shù)


名稱

3路浮子混氣三溫區(qū)1700℃管式爐--GSL-1700X-III-F3LV

爐體結(jié)構(gòu)


采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風冷系統(tǒng),使表面溫度小于35℃。

爐膛材料采用高純氧化鋁纖維,較大程度減少能量損失。

內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命。

三個溫區(qū)分別被三個獨立的溫控系統(tǒng)控制。

功率

10KW(需要75A的空氣開關(guān))

電壓

AC 380V 50Hz

加熱區(qū)

總加熱區(qū)長度:25"630mm)。

加熱溫區(qū)1長度:7.5"190mm1400℃通過4根硅碳棒加熱,溫度可達1400℃。

注:由于測量手段及外部環(huán)境的影響,測量結(jié)果可能會有偏差,側(cè)參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標。您購買產(chǎn)品需要準確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù),請與我公司銷售人員聯(lián)系。

升溫速率:10/min

加熱溫區(qū)2長度:10"250mm1700℃通6根硅鉬棒加熱,溫度可達1700℃。

升溫和降溫速度:5/min。

加熱溫區(qū)3長度:7.5"190mm1400℃通過4根硅碳棒加熱,溫度可達1400℃。

升溫速率:10/min。

爐管和法蘭尺寸

99.8%高純剛玉管 purity A1umina tube

(標配)(60mmO.D×I.D50mm)×1200mm L。

一對60mm的不銹鋼密封法蘭,法蘭上已安裝閥門和儀表。

儀器中包括4個氧化鋁管堵。


溫控系統(tǒng)

3個溫控系統(tǒng),都是PID 30段程序化控溫。

控溫儀表操作視頻。

控溫精確度

±1

低真空系統(tǒng)


采用TRP-12的雙旋機械泵,起針對于本公司的管式爐,真空度可達到10-2 torr

一個KF25的不銹鋼波紋管已安裝在真空系統(tǒng)上,其尺寸為25mm Dia×1000mm length,可于管式爐上的法蘭相連接。

防腐型真空計


其測量范圍為3.8×10-51125 torr,不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。

三路浮子混氣系統(tǒng)


3個浮子流量計(精確度4%FS)安裝在一個移動架上,可以推動,可同時混入三中不同氣體。

路氣體流量范圍為10-100 cc/min 。

第二路氣流流量范圍為16-160 cc/min。

第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min。

一個壓力表安裝在移動架上,壓力表直接于移動架內(nèi)的混氣箱相連接。

移動架上安裝有4個不銹鋼針閥。

尺寸

高溫爐:863 L×457 W×711 H mm34 L×18 W×28 H inch

質(zhì)保期&質(zhì)量認證

一年質(zhì)保期(不包括爐管加熱元件和密封圈)

CE certified

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