技術(shù)應(yīng)用鏈接:
Tetra 30 LF-PC | 內(nèi)聯(lián)設(shè)備
·開關(guān)柜： W 800 mm, H 600 mm, D 500 mm
·腔室: W 240 mm, H 150 mm, D 240 mm
·容積. 30 litres(可定制)
·氣體供給：通過 MFC 控制的多路氣體通道
·發(fā)生器: 1 pc. 40 kHz (optional: 13.56 MHz or 2.45 GHz)
·控制系統(tǒng): 配有工業(yè)現(xiàn)場總線的 PC-控制系統(tǒng) (Windows)
·自動化：系統(tǒng)可以集成到生產(chǎn)線中
未找到相應(yīng)參數(shù)組，請于后臺屬性模板中添加
環(huán)保在線