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射頻真空等離子清洗機(jī)

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射頻真空等離子清洗機(jī)產(chǎn)品介紹: 1、獨(dú)立數(shù)顯射頻電源 2、強(qiáng)力去除光刻膠有機(jī)污染物 3、腔體內(nèi)部接近常溫 4、科研改性 5、媒粉灰化處理 技術(shù)參數(shù): 型號(hào) PT-2ST P

詳細(xì)介紹

射頻真空等離子清洗機(jī)產(chǎn)品介紹:
 
1、獨(dú)立數(shù)顯射頻電源
2、強(qiáng)力去除光刻膠有機(jī)污染物
3、腔體內(nèi)部接近常溫
4、科研改性
5、媒粉灰化處理
 
 
 
技術(shù)參數(shù):
型號(hào)PT-2STPT-5STPT-10STPT-15ST
腔體材質(zhì)316不銹部表面處理 
腔體尺寸Φ100x270LΦ150x270Lmm220x260x200mm
L*W*H
320x260x200mm
腔體容量2L5L10L15L
外形尺寸560x540x550mm
L*W*H
560x540x550mm
L*W*H
650x550x580mm
L*W*H
650x550x650mm
L*W*H
電源頻率13.56MHZ 
電源功率0-200W(手動(dòng)匹配)0-300W(自動(dòng)匹配)0-500W(自動(dòng)匹配)
流量計(jì)高精密2路浮子流量計(jì) 
真空計(jì)壓力表(量化值顯示) 
控制過(guò)程全自動(dòng)控制與手動(dòng)(PLC人機(jī)界面) 
清洗時(shí)間0-99999S可調(diào) 
真空度1-30pa 
腔體溫度<30℃ 
供電電壓220V
 
 
真空泵2XZ-2(抽速2L/S)2XZ-4(抽速4L/S)
 
 

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