型號(hào)：GSL-1700X-F3LV
產(chǎn)品概述：GSL-1700X-F3LV是一款CE認(rèn)證的管式爐CVD系統(tǒng)，其真空泵采用雙旋片式，混氣系統(tǒng)采用三路浮子供氣系統(tǒng)，溫度可以達(dá)到1700°C，真空度可達(dá)到5x10-2 torr ，可以混合1-3種氣體。
| 管式爐結(jié)構(gòu) | · 保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維可以環(huán)保節(jié)能，減少熱量的損失 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命 | ||||||
| 加熱元件 | 1800 grade MoSi2 ( 8根) | ||||||
| 工作溫度 | 1650℃（<2h）（更新時(shí)間：19.12.10--JS2） 1600℃（長(zhǎng)期工作溫度） | ||||||
| 升溫速率 | 5℃/min | ||||||
| 降溫速率 | 5℃/min | ||||||
| 加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 455mm (18") | ||||||
| 溫控系統(tǒng) | · 一個(gè)精密溫度控制器 PID方式控制，通過(guò)可控硅 SCR · 可設(shè)置30段升降溫程序. · 控溫儀表操作視頻 帶有過(guò)熱和斷偶保護(hù) | ||||||
| 控溫精度 | +/-1℃ | ||||||
| 爐管材質(zhì)和尺寸 | · 99.8% 高純氧化鋁 Al2O3 陶瓷管 · （標(biāo)配）OD: 60 mm：ID: 50mm x1000 mm L （選配）OD: 80 mm：ID: 70mm x1000 mm L | ||||||
| 密封法蘭 | · 兩個(gè)不銹鋼密封法蘭，法蘭上已經(jīng)安裝機(jī)械壓力表（圖片中的藍(lán)表為選配）和閥門 · 通過(guò)機(jī)械泵真空壓力可以達(dá)到5x10-2 torr 泄漏率6 mtorr/min | ||||||
| 輸入電源 | AC 208~240V, 單相, 50/60Hz, 功率：5KW | ||||||
| 真空泵和配件 |
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| 氣體流量計(jì) | · 3個(gè)浮子流量計(jì)安裝在一個(gè)移動(dòng)架上，可以推動(dòng)，可同時(shí)混入三種不同氣體。 · 路氣體流量范圍為10-100 cc/min. · 第二路氣體流量范圍為16-160 cc/min. · 第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min. · 一個(gè)壓力表安裝在移動(dòng)加上，壓力表直接于移動(dòng)架內(nèi)的混氣箱相連接 ，來(lái)監(jiān)測(cè)混合氣體的壓力 · 四個(gè)不銹鋼針閥安裝在前面板上
Front Panel Back Panel Gas Routes | ||||||
| 運(yùn)輸信息 |
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| 質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期，相關(guān)耗材除外，如爐管，密封圈等易耗件 | ||||||
| 質(zhì)量認(rèn)證 |
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環(huán)保在線