1200℃雙溫區(qū)開啟式管式爐OTF-1200X-II

操作視頻

· 溫度可達1200℃。

· 采用ABB電器元件。

· 兩個200mm長的加熱區(qū)，可以獨立控制溫度。

· 雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，可有效降低殼體表面溫度。

· 內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命。

· 開門斷電，提高實驗安全性。

熱偶：K型熱偶     建議升溫速率：≤10℃/min  

溫度：1100℃ （1200℃＜1h）  電源：AC220，50Hz   功率:3KW

· 高純石英管尺寸：

· 25 O.D x 19 I.D  

· 50 O.D x 44 I.D

· 60 O.D x 55 I.D

· 80 O.D x 75 I.D

· 100 O.D x 95 I.D

· 加熱區(qū)長度：400mm (雙溫區(qū)：200mm+200mm)

· 摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層，可以極大程度延長使用壽命）

· 采用一對SS304不銹鋼真空法蘭與高溫硅膠密封圈密封

· 兩個針閥已分別安裝在兩個法蘭上（下圖）

· 一個真空壓力表安裝在一側(cè)法蘭（下圖）

· 法蘭上標配安裝的是Φ8的寶塔嘴接頭

· 為了獲得較好的抽氣速率可以配用KF25的轉(zhuǎn)接頭

· 為了較好地向爐管中通入氣體可以配用1/4"的不銹鋼卡套接頭

· 可選：您可以選購kf25真空口法蘭

· 可選：您可以訂購法蘭支架

· 包含一款YD518P型溫度控制器

· PID自動控溫系統(tǒng)

· 智能化30段可編程控制

· 儀表控溫精度：±1℃

· 兩個溫區(qū)分別有兩個獨立的溫控系統(tǒng)控制

· 默認DB9 PC通信連接端口

· 通過MET認證

· 可選購電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)

· 定期對管式爐進行溫度校準，可保持溫度的準確性和均勻性。您可以在我公司選購一個簡單的校準工具包，輔助您完成這項工作，完整的校準套件包括

· 48"L（1/4"OD）K型熱電偶校準

· 一Omega溫度校準器

· 熱電偶補償線

·關(guān)閉時外形尺寸：640 L x 420 W x 550 H mm

·開啟時外形尺寸：640 L x 420 W x 780 H mm

·爐膛尺寸：120x200X2

· 約45Kg

一年保修，終身技術(shù)支持。

特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

· 通過機械泵可達到50mTorr（參考值，銷售）

· 通過分子泵泵可達到10E-5 Torr（參考值，銷售）

· 可選購一個冷真空阱，以避免真空泵造成污染（見下圖）

所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA/CE認證，若客戶出認證費用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認證或CAS認證。

· 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

· 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全（見圖1）

· 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當

· 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

· 石英管的長時間使用溫度＜1100℃

· 對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）

· 設(shè)備使用過程兩邊需添加管堵，保證恒溫區(qū)和法蘭密封性（見圖2）

       圖1               圖2

·如何在MTI管爐上放置管堵和真空法蘭

·為了在管式爐內(nèi)獲得準確的溫度，在使用前需要校準溫度，請點擊這里了解如何使用

x22%5CCal-OTF1200x22-v1.pdf">·你可以每個溫區(qū)設(shè)置不同溫度來構(gòu)造CVD沉積的溫度梯度，點擊鏈接查看如何構(gòu)造溫度梯度。