應(yīng)用范圍：

Nernst 微電子行業(yè)便捷式微量氧分析儀是專門針對微電子行業(yè)設(shè)計制造的第7代微氧分析儀。廣泛應(yīng)用于快速退火爐，Rapid Thermal Processing，真空焊接爐,電子行業(yè)芯片制造,生物醫(yī)藥業(yè),精密零部件光亮退火爐,高強合金刀具涂層處理設(shè)備等,以及各種小型設(shè)備上需控氧的工藝。由于采用長壽命，高精度氧化鋯片結(jié)構(gòu)原理，可有效測量微氧，所測微氧量可達10^-30%~氧含量，特別適合對產(chǎn)品工藝氧含量要求控制要求嚴格設(shè)備和工藝。分析儀實時提供爐內(nèi)或煙道內(nèi)煙氣的含量O₂%(百分比)以及12種其他有用的參數(shù)。微氧氣分析儀也適用于其他各種需要測量高精度氧氣含量的領(lǐng)域。

微電子行業(yè)便捷式微量氧分析儀 技術(shù)特點：

◆ 氧探頭傳感器：內(nèi)置式高精度片狀氧化鋯傳感器，反應(yīng)速度快。

◆ 多路輸出控制：儀器有兩路4～20mA電流輸出及計算機通訊接口RS232或網(wǎng)絡(luò)通訊接口RS485。

◆ 測 量 范 圍： 測氧范圍10的負30次方至氧量。

◆ 氧量顯示單位：百分含量%，PPM方式，科學(xué)計數(shù)法E-X%自動轉(zhuǎn)換。

◆ 報 警 設(shè) 置： 儀器有1路通用報警輸出以及3路可編程序報警輸出。

◆ 自 動 校 正： 儀器會自動監(jiān)測各功能系統(tǒng)并自動校正以保證儀器測量時的精度。

◆ 智 能 系 統(tǒng)： 儀器可人機對話并按預(yù)定的設(shè)置完成各項設(shè)置的功能。

◆ 顯示輸出功能：儀器有很強的顯示各種參數(shù)的功能并具有很強的各種參數(shù)的輸出和控制功能。

◆ 安 全 功 能： 當爐子停止使用時，用戶可控制關(guān)閉探頭的加熱器以確保使用時的安全。

◆ 無 需 安 裝： 儀器為一體化便捷式分析儀。

規(guī)格和參數(shù)：