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當(dāng)前位置：科邁斯科技股份有限公司>>鍍層膜厚儀>> Semilab SE-2000橢圓偏振光譜儀
| 參 考 價: | 面議 |
產(chǎn)品型號Semilab SE-2000
品牌
廠商性質(zhì)其他
所在地
更新時間：2025-02-11 09:43:23瀏覽次數(shù)：79次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線| 特點 | 規(guī)格 |
|---|---|
| 量測 | 厚度, 反射率, 吸收率, 表面結(jié)構(gòu) |
| 量測波長 | 632.8 nm(He-Ne 雷射) |
| 量測時間 | 100 ms~2 s |
| 量測厚度 | 2 nm~6000 nm |
| 樣品平臺 | 200 mm (自動 Rho/Theta) |
| 反射角檢測 | 自動 / 手動 |
| 角度 | 45° – 90° / 12° – 90° |
| 變化角度 | 5° / 1° |
| 重復(fù)性 | 0.01° |
| 準(zhǔn)確度 | Psi：0.002° Delta：0.002° |
| 厚度精確度 | 0.01nm( 80nm Si3N4 on Si) |
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