- 開槽式樣品倉設(shè)計,可以測量大型平板樣品,如尺寸大于儀器 寬度的印制線路板或小型的連接器,接插件樣品。所有樣品可以很方便地放置并定位到待測點
- 樣品尺寸:270 x 500 x 150mm
- 最小的準直器:0.01mm x 0.25mm(0.5 x10 mil)
- 可根據(jù)需求選擇檢測器-正比計數(shù)器(Ti鈦~-U鈾)或高分辨率 (Al鋁 -U鈾)SDD
- 可以分析金屬膜厚及成分, 從原子序號22~至92的典型元素的電鍍層、化學鍍層
- 多層多元素校正符合IPC 4556, IPC 4552A
- Z 軸自動控制, Z 軸自動對焦系統(tǒng)
- 鈷二次濾光片,用于準確校正銅鎳之間的相互干擾,合適鎳層的精確測量
- 數(shù)量準直器:6個
- 金屬薄膜厚度0.03微米(30nm)到 30 um微米,根據(jù)不同鍍層元素和鍍層結(jié)構(gòu)不同而不同
- Hitachi SmartLink FP 基本參數(shù)法
項目 | 描述 |
---|---|
測量方向 (X射線照射方向) | 從上往下,即使樣品表面有一定的幅度或不平整等情況也可輕易對焦 |
外形尺寸 | 寬 x 深 x 高 [mm]: 約 407 x 770 x 400 mm |
樣品臺設(shè)計 | 開槽式樣品倉,可以測量大型平板樣品,如尺寸大於儀器 寬度的印製線路板或小型的連接器,接外掛程式樣品。所有樣品可以很方便地放置並定位到待測點。 Z 軸自動控制(Z 向行程:43mm) 樣品倉內(nèi)部尺寸:236 x 430 x 160mm (寬 x 深 x 高) |
X射線源 | W 靶射線管 |
高壓發(fā)生器 | 50 kV, 1.0 mA (50 W) 高壓發(fā)生器,高壓多檔可調(diào) |
二次濾光片 | 鈷二次濾光片,用於準確校正銅鎳之間的相互干擾,合適鎳層的精確測量。 |
X射線接收器檢(探測器) | 正比計數(shù)器(Ti鈦~-U鈾)或高解析度 (Al鋁 -U鈾) SDD |
元素範圍 | 鈦-鈾,或鋁-鈾(SDD) |
視頻系統(tǒng) | 彩色 CCD,30 倍光學放大, 200%、300%和 400%數(shù)位放大。樣品分析區(qū)域 在使用者介面顯示,清晰、易用。 |
Z 軸自動對焦系統(tǒng) | 鐳射用於 Z 軸自動精確定位X 射線光管/檢測器與被測樣品到測試距離。 「一鍵操作」將Z 軸測試頭移動到位置,同時將樣品圖像定焦(顯示在螢?zāi)簧希?br>注:測試距離為 12.7mm,由 X 射線測試頭自動調(diào)節(jié)高度(Z 軸)。 |
可測量的鍍層 元素範圍 | 元素週期表中 22 號鈦元素到 92 號鈾元素 |
可測量的鍍層層數(shù) | 最多可同時測量 4 層(不含基材) |
可測鍍層厚度範圍 | 通常約 0.03 微米到 30 微米,根據(jù)不同鍍層元素和鍍層結(jié)構(gòu)不同而不同。 |