熱機(jī)械分析儀(Thermal Mechanical Analyzer) 為材料科學(xué)最基本的測(cè)量工具之一。TMA能測(cè)量出各種不同材質(zhì)樣品非常微量的尺寸變化、應(yīng)力應(yīng)變、潛變復(fù)原與機(jī)械黏彈性等多種數(shù)據(jù)。舉凡是材料，其膨脹收縮、尺寸安定性的測(cè)量，進(jìn)一步到復(fù)合材料如電路板的剝離、電子芯片封裝、材料曲翹等現(xiàn)象，各種材料尺寸會(huì)隨溫度而變化的產(chǎn)品，經(jīng)由TMA獲得的材料特性對(duì)于各種產(chǎn)品設(shè)計(jì)及制程都能提供極為重要的測(cè)量信息。
| 溫度范圍 | RT to 1500℃ |
|---|---|
| 升溫速率 | 0.01 to 100℃/min |
| Tube | 陶瓷、石英 |
| Probe | 陶瓷膨脹 石英膨脹（~1000℃） 石英穿刺（~1000℃） 石英拉伸（~600℃） 石英拉伸（~500℃） |
| TMA 量測(cè)范圍 | ±5mm |
| RMS噪聲/敏感度 | 0.005um/0.01um |
| 施力范圍/分辨率 | ±1.47N/9.8uN |
| 樣品尺寸 | 膨脹：D 10 x L 25mm |
| 樣品長(zhǎng)度量測(cè) | 自動(dòng)量測(cè) |
| 應(yīng)力控制模式 | Constant：+/- 5.8N Constant rate loading：9.8 x 10-2 to 9.8 x106 mN/min Sinusoidal loading：0.001 to 1Hz Combination：Maximum 40 steps |
| 應(yīng)變控制模式 | Constant：+/- 5000um Constant rate strain loading：0.01 to 106 um/min Sinusoidal strain Control：0.001 to 1Hz Combination：Maximum 40 steps |
? 高分子材料(TMA/SS)
? 金屬材料(TMA/SS)
? 陶瓷材料(TMA/SS)
? 電子光電材料(TMA/SS)
? 奈米材料(TMA/SS)
? 金屬材料(TMA/SS)
? 陶瓷材料(TMA/SS)
? 電子光電材料(TMA/SS)
? 奈米材料(TMA/SS)
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