立體式三維光學剖面儀為實驗室研究和生產(chǎn)過程控制提供了*高性能的非接觸表面測量。結合十代白光干涉測量(WLI)的**和設計，這一計量系統(tǒng)提供了*高的垂直分辨率超過該行業(yè)的*大視野。主要功能包括*自動化和生產(chǎn)接口，大型電動XYZ級，頭部傾斜/傾斜，以及一個完整的空氣隔離臺。設計從地面到*苛刻的研發(fā)，質(zhì)量保證，和過程質(zhì)量控制的需要，CONTEBGT-X提供了*終的量具能力的三維光學精度和穩(wěn)健性。

生產(chǎn)準備設計與可靠性

CONTEBGT-X結合了Bruker的磚利**/傾斜頭，磚利的自校準激光基準，集成模式識別，以及許多其他專有的干涉測量技術的**，以提供非常**的表面計量和高通量。該系統(tǒng)的自動化配置能夠快速優(yōu)化幾乎任何生產(chǎn)環(huán)境，其特點包括用于增強X、Y、Z晶圓放置精度的空氣臺穩(wěn)定器套件和用于集成PDU、EMO和真空系統(tǒng)，以及為自動加載端效器兼容性而修改的真空卡盤。

高精度高分辨率成像

CONTEBGT-X機動XY舞臺提供12英寸編碼運動在X和Y方向.該平臺支持自動化例程，例如多點數(shù)據(jù)收集，以及用于大面積分析的拼接功能。0.5微米編碼器提供可靠、可重復的自動化和樣品定位。示例定位通過直觀的操縱桿和軟件界面控件為操作者提供了方便。

直觀曲面測量與分析軟件

Bruker的Vision64操作和分析軟件提供了業(yè)界*實用和*精簡的圖形用戶界面，將智能體系結構與直觀的可視化工作流和用戶定義的廣泛自動化功能結合在一起，用于快速和**的數(shù)據(jù)收集和分析。一個*的生產(chǎn)接口，允許適應幾乎任何生產(chǎn)環(huán)境和自動化過程的CONTEBGT-X。該接口提供了自定義流程工作流、自動映射和負載測量配方的工具。