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當(dāng)前位置：亞科電子（包括亞科電子（香港）有限公司、北京亞科晨旭科技有限公司等）>>測試與輔助工藝設(shè)備>> EVG 320晶圓清洗系統(tǒng)
| 參 考 價: | 面議 |
產(chǎn)品簡介：
EVG 320是一款自動單晶圓清洗設(shè)備，采用兆聲清洗在鍵合前對晶圓表面做清洗，提高鍵合質(zhì)量。
主要特點及參數(shù)：
·可適用于12寸（300mm）晶圓
·FOUP-to-FOUP或Cassette-to-Cassette全自動運行
·采用1MHz兆聲清洗頭，有效去除＞1μm的顆粒
·最多可以配置4個清洗腔室
·機器人處理確保預(yù)對準(zhǔn)精度
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