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亞科電子（包括亞科電子（香港）有限公司
北京亞科晨旭科技有限公司等）

ULVAC CS-200系列磁控濺射臺

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地

更新時間：2024-04-27 07:01:09瀏覽次數(shù)：299次

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主要技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品簡介：

ULVAC CS-200系列磁控濺射鍍膜設(shè)備是一款追求低成本和用戶友好操作的磁控濺射設(shè)備，通過增加配有機械手d裝載固定腔室（Load lock chamber）使在上下基板時工藝腔室仍保持真空。
 

主要技術(shù)參數(shù)：

·適用于小于8inch的各種基板；
·配備300℃的基本加熱裝置，可選配600℃的基本加熱裝置；
·可選配RF源；
·膜厚均勻性好于±5%；
 

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