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行業(yè)產(chǎn)品

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天津中環(huán)電爐股份有限公司


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1200℃滑動(dòng)式單、雙、三溫區(qū)CVD系統(tǒng)

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品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

聯(lián)系方式:黃女士查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2021-11-02 15:53:46瀏覽次數(shù):634次

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經(jīng)營(yíng)模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:67條

所在地區(qū):天津天津市

聯(lián)系人:黃女士 (網(wǎng)絡(luò)推廣)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品用途:此款CVD系統(tǒng)適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)真空淬火退火,快速降溫等工藝實(shí)驗(yàn)。

詳細(xì)介紹

   

 

產(chǎn)品用途:

此款CVD系統(tǒng)適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測(cè)試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控

生長(zhǎng)、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)真空淬火退火,快速降溫等工藝實(shí)驗(yàn)。

 

產(chǎn)品組成:

CVD系統(tǒng)配置:

1.1200度開(kāi)啟式真空管式爐(可選配多溫區(qū))。

2.滑動(dòng)系統(tǒng)分為手動(dòng)、電動(dòng)滑動(dòng),并配有風(fēng)冷系統(tǒng)。

3.多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

4.真空系統(tǒng)(可選配中真空或高真空)    

 

產(chǎn)品特點(diǎn):

1 控制電路選用模糊PID程控技術(shù),該技術(shù)控溫精度高,熱慣性小,溫度不過(guò)沖,性能可靠,操作簡(jiǎn)單。

2 氣路快速連接法蘭結(jié)構(gòu)采用本公司的知識(shí)產(chǎn)權(quán)設(shè)計(jì),提高操作便捷性。

3 中真空系統(tǒng)具有真空度上下限自動(dòng)控制功能,高真空系統(tǒng)采用高壓強(qiáng),耐沖擊分子泵,防止意外漏氣造成分子泵損壞,延長(zhǎng)系統(tǒng)使用壽命。

4 (電動(dòng))滑動(dòng)系統(tǒng)采用溫度控制器自動(dòng)控制爐體移動(dòng),等程序完成,爐體按設(shè)定的速度滑動(dòng),因有滑動(dòng)限位功能爐體不會(huì)發(fā)生碰撞,待樣品露出爐體后,通過(guò)風(fēng)冷系統(tǒng)快速降溫。

關(guān)鍵詞:溫度控制器
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