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行業(yè)產(chǎn)品

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南京鐳普化工有限公司


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工業(yè)氣體*溴化氫純化器空分設(shè)備混配氣

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參   考   價(jià): 19999

訂  貨  量: ≥1  件

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地南京市

聯(lián)系方式:王小姐查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2020-07-23 15:53:44瀏覽次數(shù):941次

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經(jīng)營(yíng)模式:經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品:5條

所在地區(qū):江蘇南京市

聯(lián)系人:王小姐 (商務(wù))

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

我們提供的腐蝕性氣體純化器可以純化以下工業(yè)氣體:*,溴化氫,二氯二氫硅(DCS),三氯氫硅(TCS),三氯化硼,四氯化硅,一氧化碳,一氧化氮,*。
純化器的主要用途(典型應(yīng)用):去除工業(yè)氣體中的水分,細(xì)微顆粒,揮發(fā)性金屬顆粒,大流量應(yīng)用,防止裝置(閥門閥座)腐蝕。

詳細(xì)介紹

工作原理:純化媒介是一種高活性的無(wú)機(jī)化合物,可以用來(lái)去除腐蝕性氣體中的水分,有效降低腐蝕性氣體對(duì)氣體供應(yīng)系統(tǒng)中各個(gè)部件的腐蝕程度。此類腐蝕行為會(huì)產(chǎn)生大量的揮發(fā)與非揮發(fā)的金屬雜質(zhì),明顯降低設(shè)備性能和產(chǎn)能,同時(shí)也會(huì)大大減少整個(gè)氣體供應(yīng)系統(tǒng)的使用壽命。 Metal-X TM 能夠有效去除氣體原料在生產(chǎn)過程中或是在供應(yīng)過程中產(chǎn)生的各類金屬雜質(zhì)。由于此類金屬雜質(zhì)無(wú)法通過過濾器清除,Metal-X TM 被證明是可以同時(shí)去除腐蝕性氣體中的水分和金屬雜質(zhì)(揮發(fā)與非揮發(fā))的純化媒介。

 

去除:

水分 (H2O)

細(xì)微顆粒 (非揮發(fā)性)

揮發(fā)性金屬顆粒:鐵,鉬,鉻,鈦,鎳,錳等

提高并確保制程氣體質(zhì)量

提高制程性能與產(chǎn)能

 

保護(hù)設(shè)備不被腐蝕

適用于氣源 (滿瓶),POU 制程機(jī)臺(tái)前端(<100 psig)。

 MTX 擁有比前代同類產(chǎn)品高出約30%壽命。

MTX 擁有更高的性能

< 1 ppb H2O in N2 (APIMS常壓電離質(zhì)譜分析)

< 100 ppb H2O in HBr (FTIR傅里葉紅外光譜/Laser IR/Lamda ScanLDL分析設(shè)備及方法的檢測(cè)極限)

不需要額外的電源供應(yīng)

不需要加熱或冷卻

 

ICP-MS 電感耦合等離子質(zhì)譜

典型應(yīng)用

減少etchingchamber cleaning時(shí)的金屬雜質(zhì)

減少Epi Si CVD氣源中的金屬雜質(zhì)

光釬和其余超高純應(yīng)用

需要具體型號(hào)及尺寸等更多信息

 

 

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